SEMISHARE森美协尔 M4手动探针台
M4手动探针台具备高达5微米的分辨率,能够进行精确的电气测试,其紧凑的结构使得设备占用空间小,便于在实验室中灵活移动和操作,适合小型实验室和高校使用。支持多种测试模式,包括直流(DC)、交流(AC)、射频(RF)等,封闭式移动平台,防尘,防误操作。

科研实验应用:1、半导体器件测试:用于测试功率半导体器件的电气特性;2、集成电路研发:在集成电路的研发过程中进行电参数测试;3、MEMS器件分析:用于微机电系统(MEMS)器件的性能评估;4、光电器件测试:测试光电器件的光电性能和响应特性;5、材料科学研究:用于新材料的电学特性研究。
SEMISHARE森美协尔 M4手动探针台技术参数:
| 型号 | M4 | |
| 外形(长*宽*高) | 650*490*620mm | |
| 重量(KG) | 约45kg | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | |
| 卡盘 常温标准 | 卡盘尺寸 | 4" |
| 样品固定方式 | 环形及多孔真空吸附(可定制) | |
| 背电极测试功能 | 有/样品台电学独立悬空 | |
| 卡盘材质 | 316#不锈钢(可选黄铜镀镍or镀金) | |
| 卡盘 移动平台 | X-Y行程 | 100*100mm |
| 移动精度 | 10μm | |
| Theta行程 | 360°旋转(粗调);可旋转微调,微调精度0.002° | |
| 卡盘升降 | N/A | |
| 卡盘快速拉出 | N/A | |
| 控制方式 | 小型旋钮驱动 | |
| 针座平台 | 平台尺寸 | 长540mm*宽310mm |
| 卡盘到平台距离 | 8mm(卡盘上表面与针座平台下表面) | |
| 针座数量 | 最多可放置6针座(DC×6/RF×4,DC×2) | |
| 针座平台升降 | N/A | |
| 针座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | |
| 光学特性 | 显微镜规格 | 标配体视显微镜(可选配视频显微镜) |
| 放大倍数 | 16~100X | |
| CCD像素 | 3种CCD可选:200W(数字)/500W(数字)/650W(数字) | |
| 显微镜控制行程 | 显微镜调焦架控制可360度旋转,Z轴:50.8mm | |
| 显微镜移动精度 | N/A | |
| 镜头切换方式 | N/A | |
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm |
| 机械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | |
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 | |
SEMISHARE森美协尔 M4手动探针台使用方法:
- 准备工作:确保探针台连接电源并处于稳定状态。检查探针和样品盘的清洁度,确保无污染。
- 样品准备:将待测样品放置在探针台的样品盘上,确保样品固定。
- 设置探针:使用手动控制旋钮调整探针位置,使其与样品的电极PAD点对齐。
- 进行测试:启动测试仪器,选择所需的测试模式(如I-V测试、C-V测试等)。观察测试结果,确保数据稳定。
- 数据记录:记录测试结果,并根据需要生成报告。
- 维护与清洁:测试完成后,清洁探针和样品盘,确保设备处于良好状态。
SEMISHARE森美协尔 M4手动探针台哪些实验室在用:
- 清华大学:用于半导体器件的电气特性测试。
- 北京大学:用于集成电路的研发和测试。
- 复旦大学:用于MEMS器件的性能评估。
- 华中科技大学:用于光电器件的测试。
- 南京大学:用于新材料的电学特性研究。
- 浙江大学:用于教育和培训,帮助学生理解半导体测试原理。
SEMISHARE森美协尔 M4手动探针台售后服务支持:
- 保修期:设备通常提供一定期限的保修期,涵盖制造缺陷和材料问题。
- 备件供应:确保常用备件的及时供应,减少设备停机时间。
- 软件更新:定期提供软件升级服务,添加新功能和修复已知问题。
- 硬件升级:可根据需求提供硬件升级服务,提升设备性能。
- 问题响应:针对客户反馈的问题,提供快速响应和解决方案。
- 保修范围:在保修期内,涵盖设备的材料和工艺缺陷。
- 在线资源:提供用户手册、操作指南和常见问题解答(FAQ)的在线访问。
- 满意度调查:定期进行客户满意度调查,收集反馈以改进服务质量。
相关产品:
高精度电源:用于提供稳定的电源,进行电气测试。
示波器:用于观察和分析电信号波形。
信号发生器:用于生成测试信号,进行频率响应测试。
热重分析仪 (TGA):用于材料的热特性分析,结合电气测试提供全面数据。
差示扫描量热仪 (DSC):用于材料的热分析,评估其热稳定性。
质谱仪 (MS):用于分析材料的化学成分,结合电气测试提供更深入的材料特性。
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