ZEISS蔡司 ORION NanoFab扫描电子显微镜

 

ORION NanoFab扫描电子显微镜能够实现亚10纳米结构的超高精度加工，适用于纳米技术和材料科学领域。显微镜集成了镓、氖和氦离子束，用户可以根据不同的应用需求选择合适的离子束进行加工和分析。0.5纳米图像分辨率，具有纳米图案和可视化引擎，集成的硬件和软件控制系统。

科研实验应用：1、材料科学：用于研究纳米材料的结构、形貌和组成，分析新材料的物理和化学性质；2、半导体制造：在半导体器件的研发和生产中，进行微观结构分析和缺陷检测；3、纳米技术：适用于纳米结构的观察和分析；4、生物医学：观察生物样品的超微结构，支持生物材料的开发和细胞研究。5、表面科学：研究材料表面的特性和行为，分析表面处理和涂层的效果。

ZEISS蔡司 ORION NanoFab扫描电子显微镜技术参数：

• 5轴电动平台
• 基于64位Windows7操作系统的高级工作流程用户界面
• Powervar Security Plus不间断电源
• GFIS柱视野：900µm-100nm@8mm
• 氦离子束分辨率：0.5nm
• 束能量：10-35kV
• 束电流：0.1至100pA
• 氖离子束分辨率：1.9nm
• 束能量：10-30kV
• 束电流：0.1至50pA
• 腔体内部尺寸（长x宽x高)：280x280x260mm
• 80毫米负载锁
• 可定制检修门
• 6个视线端口可供选择
• 样品运输时间：3分钟
• 样品台电动：5轴同心台
• 台面跟踪顺序（从下到上)：倾斜、y、x、旋转、z载物台行程：x=50毫米、y=50毫米、z=8毫米，旋转：0-360°，倾斜：0-56°
• 镓FIB选项的重合点位于8毫米氦/氖束工作距离处

ZEISS蔡司 ORION NanoFab扫描电子显微镜使用方法：

1. 设备准备：确保显微镜放置在稳固的工作台上，并连接好电源和计算机。
2. 样品准备：根据样品特性进行适当的处理，确保样品表面光滑且干燥，适合进行电子显微镜观察。
3. 样品放置：将样品固定在样品台上，确保其位置准确，以便于电子束的聚焦。
4. 设置实验参数：通过控制软件设置加速电压、束流和探测器参数，优化成像条件。
5. 启动观察：启动显微镜，调整焦距和视场，获取高分辨率图像。
6. 数据采集与分析：采集图像并使用软件进行后续分析，提取所需的形貌和结构信息。
7. 清洁与维护：使用后定期清洁样品台和相关部件，保持设备的良好状态。

ZEISS蔡司 ORION NanoFab扫描电子显微镜有哪些实验室在用：

• 中国科学院物理研究所：该所从事新型材料、纳米技术等方面的基础研究
• 清华大学材料学院：该学院的先进材料及器件实验室开展纳米材料研究
• 北京大学前沿交叉学科研究院：该院有专门的纳米技术实验室，进行纳米结构分析
• 复旦大学微纳电子学国家重点实验室：该实验室从事微电子和纳电子领域的基础与应用研究
• 上海交通大学材料科学与工程学院：该学院的新型功能材料实验室进行表征分析
• 浙江大学材料科学与工程学院：该学院的先进材料实验室涉及ORION NanoFab应用
• 电子科技大学微电子学院：该学院从事微纳电子技术研究，对器件结构进行表征

ZEISS蔡司 ORION NanoFab扫描电子显微镜售后服务支持：

• 质保期：提供标准的1定年限的整机质保期，在此期间如出现质量问题可免费维修或更换。
• 维修服务：超过质保期后，仍提供专业的维修服务。用户可与服务团队联系，由经验丰富的工程师进行故障诊断和维修。
• 备件供应：公司确保ORION NanoFab所有关键备件的长期供应，用户随时可以购买所需零件。
• 技术支持：设有专门的技术支持热线，用户可随时咨询仪器使用及操作问题，获得专业指导。
• 培训服务：为新用户提供ORION NanoFab的操作培训，确保用户掌握正确的使用方法。
• 远程支持：工程师可通过远程连接的方式，协助用户排查和解决设备故障。
• 升级改造：可为用户提供硬件和软件方面的升级改造服务，以提升仪器性能。
• 应用支持：拥有丰富的应用经验，可为用户提供操作指导、样品制备等应用层面的支持。

相关产品：

透射电子显微镜 (TEM)：用于更高分辨率的材料分析，研究样品的内部结构和晶体特性。

原子力显微镜 (AFM)：观察样品的表面形貌，提供纳米级别的表面分析。

X射线衍射仪 (XRD)：分析样品的晶体结构，提供补充的晶相信息。

光谱分析仪（如 EDS）：结合能谱分析，提供样品的元素组成和化学形态信息。

激光颗粒分析仪：用于分析样品的粒径分布，补充显微镜观察的数据。