Bruker Dektak XT表面轮廓仪/台阶仪

 

Dektak XT能够测量表面粗糙度、台阶高度和薄膜厚度，垂直方向的重复性可达5埃（<5Å），视场（FOV）范围1~4mm，适合纳米尺度的表面轮廓测量。采用单拱形设计，增强了设备的稳定性和防震性能，支持自动化多样品测量模式，该仪器不仅可以进行二维表面轮廓测量，还支持三维测量和数据分析，适用于多种材料和应用场景。

科研实验应用：1、半导体行业：用于测量晶圆表面的薄膜厚度和粗糙度，确保半导体器件的质量；2、光伏材料：测量太阳能电池薄膜的厚度，优化电池性能；3、材料科学：研究材料的表面特性和结构，评估材料的性能；4、微电子器件：测量微电子器件的表面轮廓，确保其制造精度；5、电池研究：评估电池材料的表面特性和薄膜厚度，提升电池性能。

Bruker Dektak XT表面轮廓仪/台阶仪技术参数：

测试技术	探针式表面轮廓测量技术（接触模式）
测量范围	二维表面轮廓测量，可选择三维测量以及数据分析
样品观测	可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm
探针传感器	低惯性量传感器（LIS3）
探针作用力	LIS3传感器中1~15mg
低作用力模式	N-Lite+低作用力0.03~15mg
探针选项	探针曲率半径50nm~25um，高径比针尖（HAR）10um×2um和200um×20um；也可以采用客户定制针尖
样品X/Y载物台	手动X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平；自动X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平
样品/ 载物台	手动，360度连续旋转；自动，360度连续旋转
计算机系统	64位多核并行处理器，Windows7系统；可选配23英寸平板显示器
软件	Version64操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件；选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件
隔振系统	多种隔振方案可供选择。
扫描长度范围	55mm（~2英寸）
单次扫描数据采集点	达120，000
样品厚度	50mm(2英寸)
晶片尺寸	200mm(8英寸)
台阶高度重复性	<5埃，1sigmaon0.1μmstep
垂直方向扫描范围	1mm(0.039英寸.)
垂直方向分辨率	分辨率可达1埃(在6.55um测量范围内
输入功率	100–240VAC,50–60Hz
温度范围	可以操作温度为20~25°C(68~;77°F)
湿度范围	≦80%，无凝结
系统尺寸和重量	455mmWx550mmDx370mmH；34kg(75lbs.)；隔离罩：550mmLx585mmWx445mmH(23in.)；5.0kg(11lbs.)

Bruker Dektak XT表面轮廓仪/台阶仪使用方法：

1. 准备样品：确保样品表面清洁且符合仪器的尺寸要求。
2. 设置仪器：根据样品类型和测量需求，调整DektakXT的参数设置。
3. 选择测量模式：根据需要选择二维或三维测量模式。
4. 加载样品：将样品放置在仪器的样品台上，确保其稳定。
5. 启动测量：启动测量程序，监控测量过程，确保数据采集的准确性。
6. 数据分析：使用相关软件对获取的数据进行分析，提取所需的表面特性信息。

Bruker Dektak XT表面轮廓仪/台阶仪哪些实验室在用：

• 清华大学：进行半导体材料的表面特性研究。
• 北京大学：研究光伏材料的薄膜厚度和性能。
• 华南理工大学：测量高亮度LED材料的表面粗糙度。
• 大连理工大学：进行微电子器件的表面轮廓测量。
• 浙江大学：研究电池材料的表面特性和薄膜厚度。
• 中国科学院材料研究所：进行材料科学领域的表面分析。

Bruker Dektak XT表面轮廓仪/台阶仪售后服务支持：

• 在线支持：提供在线技术支持，用户可以通过电子邮件或官方网站提交问题。
• 电话支持：专业技术团队可通过电话为用户提供实时帮助。
• 保修期限：提供一定期限的保修服务，具体视购买协议而定。
• 现场维修：提供现场维修服务，确保设备快速恢复正常运行。
• 运输维修：若设备不能现场修复，可以安排运输至服务中心进行维修。
• 维护计划：提供定期维护服务，以确保设备的最佳性能和准确度。
• 校准服务：定期校准设备，确保测量结果的可靠性。
• 用户培训：提供设备操作培训，确保用户能够熟练使用仪器。
• 应用培训：针对特定应用提供培训，以帮助用户发挥设备的最大潜力。

相关产品：

扫描电子显微镜(SEM)：用于观察样品的表面形貌和微观结构。

原子力显微镜(AFM)：提供更高分辨率的表面特性分析。

X射线衍射仪(XRD)：用于分析材料的晶体结构和相组成。

热重分析仪(TGA)：评估材料的热稳定性和组成。

傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)：用于材料的化学成分分析。

激光粒度仪：测量样品的颗粒大小分布。