KLA P-7探针表面轮廓仪

 

KLA P-7探针表面轮廓仪提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产和研发环境。该系统支持台阶高度、粗糙度、弓形和应力的2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。具有多种过滤、调平和分析算法来量化表面形貌。通过模式识别、测序和特征检测实现全自动测量。

科研实验应用：KLA P-7在半导体制造工艺实验室、自动化零部件表面实验室、微纳米技术研究实验室。料科学实验室、半导体研究实验室、生物医学实验室、薄膜涂层实验室广泛应用。用于金属、陶瓷、聚合物、生物材料、纳米材料等。

KLA P-17台式探针轮廓仪主要技术参数：

• 重复性：≤4A(0.10%)
• 垂直分辨率：0.01A
• 水平分辨率(X)：0.025um
• 水平分辨率(Y)：0.5um
• 采样率：5~2000Hz
• 垂直线性度：士0.5%>2000 A10As2000A
• 针压范围：0.03~50mg
• 最大测量长度：150mm
• 扫描速度：2um/s-25mm/s

KLA P-17台式探针轮廓仪使用方法：

• 选择适当的样品台将需要测试的样品固定在上面。
• 选择探针材质及形状设置测量范围、速度等参数。
• 使用校准样品校准探针与样品表面间的位置关系。
• 将探针降至表面开始扫描测量表面轮廓曲线数据。
• 系统自动计算测得轮廓曲线与设定标准曲线的差别获得表面粗糙度数值。
• 根据粗糙度标准判断表面质量是否符合要求。必要时可对多点进行平均计算。
• 将测量参数和结果按规格保存便于后期追踪和管理。

KLA P-17台式探针轮廓仪有哪些实验室在用：

• 中国科学院微电子研究所国家先进制造技术研究中心
• 华为技术有限公司
• 中兴通讯研究院
• 武汉大学微电子学院
• 西安微电子应用研究所

KLA P-17台式探针轮廓仪售后服务：

• 保内维修承诺首次免费上门安装。
• 定期设备校准检定服务。
• 设备升级扩展服务，如添加模块等。
• 使用培训和文档下载服务。
• 多渠道售后咨询平台服务。
• 应用技术支持及新功能研发服务。

相关产品：

样品台：普通样品台、加热样品台、真空样品台等,适用于不同样品和环境。

校准仪：探针位置校准及整体系统校准使用。

触发传感器：配合探针移动实现自动测量。

附件套装：托架、固定器件等用于稳定固定样品。

清洁喷剂：清洁探针消除杂质影响测量精度。

保护膜。