东方晶源新一代电子束检测设备DR-SEM r655 光学灵敏度20nm

来自 实验室仪器网

东方晶源宣布推出新一代电子束检测设备DR-SEM r655，该产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，满足国内先进制程产线应用需求。其深紫外光源系统基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm。

东方晶源致力于成为集成电路领域良率管理领导者，作为布局电子束量测检测领域最早的国内企业之一，东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检测设备EBI，关键尺寸量测设备CD-SEM，电子束缺陷复检设备DR-SEM，占据电子束量测检测三大主要细分领域。

东方晶源主要产品：计算光刻产品OPC、电子束缺陷检测设备EBI、关键尺寸量测设备CD-SEM、电子束复检设备DR-SEM、严格光刻仿真软件PanSim、良率管理软件YieldBook。

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