Tescan INDUSEM扫描电子显微镜
INDUSEM扫描电子显微镜低真空模式3-500Pa,具有紧凑的设计和可移动的底盘,适合日常运输。配备额外的大型样品室,适合进行质量控制和故障分析。主动振动隔离,有效减少环境振动,提高成像质量。采用四镜头宽视场光学设计,提供多种工作和显示模式。支持自动操作、设置和对准。

科研实验应用:1、材料科学:用于材料性能优化,提供高分辨率成像和表面分析;2、半导体研究:在半导体器件的故障分析和工艺优化中应用;3、生物医学研究:用于生物样品的高分辨率成像和分析;4、纳米技术:在纳米材料的表征和开发中使用;5、质量控制:在生产过程中进行质量控制和故障分析。
Tescan INDUSEM扫描电子显微镜技术参数:
| 分辨率高真空(二次电子)低真空(背散射电子) | 3.0nm(30kV),8nm(3kV) 3.5nm(30kV) |
| 工作真空低真空模式 | 3-500Pa |
| 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
| 放大倍率 | 1.5x-1,000,000x |
| 加速电压 | 200V至30KV |
| 电子枪 | 钨灯丝 |
| 探针电流 | 1pA至2μA |
| 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
| 聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 |
| 扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
| 图象尺寸 | 可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
| 显微镜控制 | 通过触摸屏操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
| 自动程序 | 实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整。 |
| 远程控制 | 通过TCP/IP |
| 样品室 | |
| 内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 |
| 门宽 | 280mm宽×310mm深 |
| 接口数量 | 12+ |
| 样品室减振方式 | 内置主动式电磁减振 |
| 样品载台 | |
| 类型 | 全电脑化优中心 |
| 移动范围 | X=130mm-马达驱动 Y=130mm-马达驱动 Z=100mm-马达驱动 旋转:360°连续可调-马达驱动 倾斜:-30°到+90°-马达驱动 |
| 样品高度 | 145mm |
Tescan INDUSEM扫描电子显微镜使用方法:
- 设备准备:确保电源连接正常,打开扫描电子显微镜。
- 样品准备:将待测样品固定在样品台上,确保其稳定。
- 设置参数:在触摸屏上设置所需的加速电压、真空度和其他成像参数。
- 对焦:调整焦距以获得清晰的图像。
- 开始扫描:启动扫描程序,观察实时图像并进行必要的调整。
- 数据记录:保存所需的图像和数据,进行后续分析。
Tescan INDUSEM扫描电子显微镜哪些实验室在用:
- 清华大学材料科学与工程系:用于材料性能分析和研究。
- 北京大学物理学院:在纳米材料研究中应用。
- 华南理工大学生物医学工程学院:用于生物样品的成像和分析。
- 浙江大学环境科学与工程学院:在环境样品分析中使用。
- 上海交通大学电子工程系:用于半导体器件的故障分析。
- 南京大学化学化工学院:在化学材料的表征中应用。
Tescan INDUSEM扫描电子显微镜售后服务支持:
- 服务内容:提供专业的安装和调试服务,确保设备正常运行。
- 定期维护:建议每年进行一次全面的维护,包括硬件检查和软件更新。
- 校准服务:按照国际标准对设备进行校准,保证测试结果的准确性。
- 热线支持:提供24小时技术热线,解决用户在使用过程中遇到的技术问题。
- 在线支持:通过邮件和在线聊天工具提供技术咨询。
- 原厂配件:提供原厂认证的配件和耗材,确保设备的长期稳定运行。
- 用户培训:为操作人员提供设备使用和维护的培训,确保用户熟练掌握操作技能。
- 定期研讨会:定期举办用户交流会,分享最佳实践和最新技术。
相关产品:
能谱仪(EDS):用于元素分析,结合扫描电子显微镜进行材料成分分析。
聚焦离子束(FIB)系统:用于样品的微纳加工和制备。
X射线衍射仪(XRD):用于材料的晶体结构分析,配合SEM进行综合研究。
激光共聚焦显微镜:用于生物样品的三维成像,结合SEM进行细节分析。
样品制备设备:用于样品的切割、抛光和镀膜,确保样品适合SEM分析。
计算机辅助设计(CAD)软件:用于数据分析和图像处理,支持SEM数据的后续分析。
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