TESCAN Mira3场发射扫描电子显微镜

 

Mira3场发射扫描电子显微镜采用场发射电子枪，提供优异的分辨率和成像质量，适用于纳米级分析。独特的"中间镜"设计，可以电磁方式有效地改变物镜光阑，结合实时电子束追踪技术，可以模拟和优化电子束，选配多种探测器，集成TESCAN的EssenceTM软件平台，可在同一个窗口中实现SEM成像和实时元素分析。简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程。

科研实验应用：1、材料科学：研究金属、合金、陶瓷等材料的微观结构和缺陷分析；2、半导体行业：用于半导体器件的表面和界面分析，评估材料性能；3、生物医学：观察生物样品的细胞结构和组织特征，支持生物研究；4、纳米技术：分析纳米材料的形貌和分布，推动纳米科技的研究；5、化学分析：结合能谱分析，研究材料的化学成分和分布。

TESCAN Mira3场发射扫描电子显微镜主要参数：

• 电子枪种类：冷场发射
• 高真空模式下二次电子图像分辨率为1.0nm@30kV
• 高真空模式背散射电子图像分辨率为2.0nm@30kV
• 加速电压:0.2~30kV
• 放大倍数:2×~1，000，000×
• 背散射电子分辨率：2.0nm@30kV
• 加速电压：0.2-30kV
• EDX能量分辨率：129eV(Mn-Ka)

电子光学系统：

• 高亮度肖特基场发射电子枪
• 独特的三透镜大视野观察(WideFieldOptics™)设计
• 中间镜(IntermediateLens™)技术结合电子束追踪(In-flightBeamTracing™)

样品台：

• 5轴全计算机控制的样品台
• 适合安装EDS、WDX、EBSD等分析附件

探测器：

• 多探测器系统，包括SE、BSE等
• 可选配镜筒内SE和BSE探测器

软件：

• 基于Windows平台的EssenceTM操作软件
• 自动设置和自动操作功能
• 支持脚本编程和远程控制

真空系统：

• 高真空模式下样品室真空度<9×10-3Pa
• 低真空模式下样品室真空度7-500Pa

TESCAN Mira3场发射扫描电子显微镜使用方法：

1. 确保显微镜放置在稳定的工作台面上，连接电源并启动。
2. 将样品处理为适合观察的形态，确保清洁和干燥。
3. 将样品固定在样品台上，确保稳固。
4. 在软件界面上设置加速电压、工作距离和成像模式等参数。
5. 启动显微镜进行成像，观察实时图像并进行调整。
6. 保存图像和数据，进行后续分析。
7. 使用后清洁样品台和周围区域，定期进行设备维护。

TESCAN Mira3场发射扫描电子显微镜有哪些实验室在用：

• 中国航天科技集团相关研发部门
• 中国石油和中国石化的材料测试实验室
• 上海交通大学化学与化工学院
• 浙江大学材料科学与工程学院
• 国家纳米科学中心
• 中国科学院生态环境研究中心

TESCAN Mira3场发射扫描电子显微镜售后服务支持：

• 提供电话和在线技术支持，解答用户在使用过程中的问题。
• 定期维护服务，确保设备正常运行，快速响应的上门维修服务。
• 及时提供必要的备件，确保设备的持续运行。
• 提供设备操作和维护的培训，确保用户能够熟练使用显微镜。
• 提供详细的用户手册和操作指南，帮助用户了解设备功能和操作流程。
• 定期提供软件更新，确保用户使用最新的功能和技术支持。

相关产品：

透射电子显微镜(TEM)：结合使用，提供更深入的材料内部结构分析。

X射线光谱仪：用于化学成分分析，补充SEM的表面信息。

原子力显微镜(AFM)：分析样品的表面形貌和物理特性，提供多维度数据。

激光粒度仪：测量样品颗粒的大小和分布，与显微镜观察结果结合。

样品制备设备：如离子刻蚀机和切割机，用于制备适合观察的样品。