TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜

 

TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜配备钨丝电子源，将SEM成像和实时元素成分分析结合在TESCAN Essence软件的单个窗口中。这种组合大大简化了从样品中获取形态和元素数据的过程，独特的Wide Field Optics设计，无需额外的光学导航相机，即可在低至2倍的放大倍数下轻松、精确地对样品进行SEM导航。模块化分析平台可选配最广泛的全集成探测器（例如 CL、BSE或RAMAN光谱仪）。

科研实验应用：材料科学：观察和分析金属、陶瓷、高分子等材料的微观结构和表面形貌；2、生命科学：观察和分析细胞、组织、生物膜等微观结构。应用于生物医学样品的表征和分析；3、半导体领域：检查和分析集成电路、薄膜等电子器件的微观结构。支持器件缺陷分析、工艺优化等研究；4、纳米科技：观察和分析各类纳米材料的形貌和尺寸特征。

TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜技术参数：

• 分辨率：高真空(二次电子3.0nmat30kv，8.0nmat3kv
• (背散射电子)：3.5nmat30kV(LMH型选配，LMU型标配)
• 低真空(低真空二次电子)﹕3.5nmat30kV(LMU型选配)
• 放大倍数：2.5to×
• 真空系统：高真空<9*10-3Pa
• 低真空3~500Pa，(LMU型标配)
• 超低真空可至2000Pa(LMU型选配)
• 加速电压0.2kVto30Kv
• 电子束电流1pA—2uA
• 样品室内部尺寸：230mm(width)×148mm(depth)
• 样品台：全自动控制
• 移动范围：X=80mm马达控制；Y=60mm马达控制；Z=47mm马达控制；R=360度连续式马达控制；T=-80至+80度马达控制

TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜使用方法：

1. 根据样品类型，采取适当的固定、脱水、喷镀等预处理步骤。
2. 将处理好的样品装入电子显微镜的样品室。
3. 打开电源，等待系统预热及初始化完成。
4. 调节真空度、电子束能量、扫描参数等，优化成像条件。
5. 选择合适的放大倍数和扫描模式，调节聚焦和亮度。
6. 通过控制台采集所需的二维或三维图像。
7. 利用专业软件对采集的图像进行测量、分析和处理。
8. 获取样品的形貌特征、尺寸数据等信息。

TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜有哪些实验室在用：

• 南京理工大学材料科学与工程学院
• 浙江大学高分子科学与工程学院
• 中国科学院过程工程研究所
• 华中科技大学生物医学工程学院
• 中国科学院金属研究所
• 武汉大学材料科学与工程学院

TESCAN VEGA 3 LM扫描电子显微镜售后服务支持：

• 提供一定期限的整机保修服务，确保设备正常运行。
• 拥有专业维修团队，提供快速响应的现场维修服务。
• 提供备件供应，确保设备及时恢复运行。
• 为用户提供系统使用培训，培养操作人员的专业技能。
• 定期组织技术交流会，分享产品新动态和应用经验。
• 设有专业的应用支持团队，提供样品分析、方法开发等技术支持。
• 根据用户需求定制特殊功能和应用解决方案。
• 提供远程诊断和在线技术支持，缩短设备恢复时间。
• 可远程进行软件升级和系统优化。

相关产品：

能谱分析仪(EDS/WDS)：与SEM联用，可对样品进行元素组成分析。

聚焦离子束(FIB)：与SEM联用，可用于样品的精细切割和表面修饰。

拉曼光谱仪：与SEM联用，可获取样品的化学键合和分子振动信息。

电子背散射衍射(EBSD)：与SEM联用，可对晶体材料的取向和结构进行分析。