ZEISS蔡司 EVO 15扫描电子显微镜

 

EVO 15扫描电子显微镜配备电动5轴平台，XY和Z轴行程大，标配可变压力功能，以及易于使用的SmartSEM软件，可提供材料分析领域的领先成像和分析解决方案。最高分辨率可达3nm，适用于观察纳米级微结构。装备二次电子探测器(SE)、背散射电子探测器(BSE)等。可获得形貌、元素分布等多样化信息。

科研实验应用：广泛应用于材料科学、生物医学、半导体等多个科研领域均有应用。适用于金属、陶瓷、高分子、细胞、组织、病原体、如骨骼、牙齿、纳米颗粒、电池材料、膜材料、半导体芯片、电子器件、历史文物、化石等样品的微观形貌和成分等。

ZEISS蔡司 EVO 15扫描电子显微镜参数：

• 电动载物台XYZ行程：130x130x50（或80）mm
• 样品室规格：420mm(直径)x330mm(高度)
• 电子枪种类：钨灯丝
• 二次电子图象分辨率：高真空二次电子像≤3.0nm@30kV
• 放大倍数：放大倍数范围不小于：10X－1,000,000X，连续可调
• 加速电压：加速电压范围：200V－30kV，10V步进连续可调
• 背散射电子图像分辨率：低真空背散射电子像≤4.0nm（30kV）
• 检测器系统：二次电子，背散射电子探测器
• 样品台：配置五轴马达驱动样品台：样品台马达移动范围：不小于80mm（X方向），100mm（Y方向），35mm（Z方向），-10°~90°（倾斜），360°（旋转）

ZEISS蔡司 EVO 15扫描电子显微镜使用方法：

• 对于导电性良好的固体样品，一般只需进行清洗即可。
• 对于绝缘性样品，可用导电涂层进行喷镀处理。
• 将样品放入样品室，并抽真空至约10^-4Pa的压力。
• 适当调节电子枪加速电压(通常在5-30kV之间)。
• 通过扫描线圈将电子束逐行扫描样品表面。
• 检测器捕获二次电子或背散射电子形成数字图像。
• 利用配套软件对获得的图像进行亮度、对比度等调整。
• 可进行数字放大、伪彩色等处理，提高图像质量。
• 结合EDS等配套分析技术，可获得元素成分信息。
• 进行图像分析，测量尺寸、粒度、孔隙率等参数。

ZEISS蔡司 EVO 15扫描电子显微镜有哪些实验室在用：

• 北京大学材料科学与工程学院实验室
• 华中科技大学微电子学院实验中心
• 武汉理工大学分析测试中心
• 中科院化学研究所分析实验中心
• 中科院微电子研究所实验楼

ZEISS蔡司 EVO 15扫描电子显微镜售后服务支持：

• ZEISS提供专业的维修服务，可快速诊断并修复故障。
• 对于超出保修期的设备，ZEISS也提供付费维修服务。
• ZEISS拥有专业的应用工程师团队，提供热线咨询服务。
• 可就样品准备、参数调整、数据分析等方面提供技术指导。
• 对于复杂问题，ZEISS工程师可远程连接系统进行故障诊断。
• ZEISS定期举办EVO15操作培训课程，培养用户熟练掌握仪器使用。
• 针对不同层级的用户，提供操作入门、进阶应用等不同培训方案。
• ZEISS针对EVO15提供硬件升级和软件更新服务。
• 可根据用户需求，对仪器配置进行定制化改造升级。
• 通过升级换代，延长仪器的使用寿命，提升分析性能。

相关产品：

离子溅射仪(Ion Sputter Coater)：用于在绝缘样品表面溅射导电薄膜，提高成像质量。

干燥机(Critical Point Dryer)：用于干燥生物样品，避免收缩失真。

超声波切割机：对硬质样品进行切割，制备合适的观察块。

能量色散X射线光谱仪(EDS)：与SEM配合使用，可进行样品元素成分分析。

电子能量损失谱仪(EELS)：可分析样品的电子能级结构和化学状态。

图像采集卡：用于将SEM获得的数字图像传输到计算机进行处理。

图像分析软件：可对 SEM图像进行尺寸测量、粒度分析等定量分析。

真空泵：为SEM样品室提供所需的高真空环境。

电源供应器：为SEM的电子枪、扫描线圈等提供稳定电源。

水冷系统。