HITACHI SU7000扫描电子显微镜

 

SU7000扫描电子显微镜的空间分辨率15kV下可达0.8nm,能够同时采集二次电子、背散射电子和X射线等多种信号,提供全面的样品信息。具备快速获取大视野全貌图和细微结构的能力,适合高通量分析。在低加速电压下仍能获得高质量图像,最多可同时显示和保存6通道信号,提升信息获取效率。

HITACHI SU7000扫描电子显微镜

科研实验应用:1、材料科学:用于研究材料的微观结构和成分分析;2、纳米技术:在纳米材料的表征和分析中发挥重要作用;3、半导体行业:用于半导体器件的质量控制和缺陷分析;4、生物医学:在生物样品的观察和分析中,提供细胞和组织的高分辨率图像。

HITACHI SU7000扫描电子显微镜技术参数:

项目 内容
图像分辨率 二次电子分辨率 0.8nm/15kV
0.9nm/1kV
放大倍率 20~2,000,000x
电子枪 发射体 ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
加速电压 0.1~30kV(步进:0.01kV)
束流 最大200nA
探测器 标准探测器 UD(上探测器)
MD(中探测器)
LD(下探测器)
选配探测器*1 PD-BSED(半导体式背散射电子探测器)
UVD(高灵敏度低真空探测器)
低真空模式*1 样品仓压力范围 5~300Pa
可使用探测器 PD-BSED,UVD,UD,MD,LD
马达台 马达台控制 5轴马达驱动
移动范围 X 0~135mm
Y 0~100mm
Z(WD) 1.5~40mm
T(倾斜角) -5~70°
R(旋转角) 360°
样品尺寸 最大直径:φ200mm,最大高度:80mm
显示器*1 23英寸LCD(1,920×1,080),支持双屏
图像显示模式 全屏显示模式 1,280×960像素显示
单屏显示模式 800×600像素显示
双屏显示模式 800×600像素显示、1,280×960像素显示*2
四屏显示模式 640×480像素显示
六屏显示模式*2 640×480像素显示*2
图像数据保存 保存图像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
选配附件 能谱仪(EDX)
X射线波谱仪(WDX)
电子背散射衍射(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
冷冻传输系统
各种功能样品台

HITACHI SU7000扫描电子显微镜使用方法:

  1. 样品准备:将待测样品清洁并固定在样品台上。
  2. 仪器设置:打开SU7000,选择合适的观察模式和加速电压。
  3. 进行测量:通过软件控制电子束扫描样品,实时观察图像。
  4. 数据采集:记录所需的图像和信号,进行多通道数据采集。
  5. 数据分析:使用软件分析采集到的数据,提取样品的微观结构和成分信息。
  6. 结果保存:保存测量结果,并生成报告。

HITACHI SU7000扫描电子显微镜哪些实验室在用:

  • 中国科学院物理研究所:用于材料微观结构的研究。
  • 清华大学材料科学与工程系:用于纳米材料的表征。
  • 北京大学生物医学工程学院:用于生物样品的高分辨率观察。
  • 复旦大学材料科学系:用于半导体材料的缺陷分析。
  • 上海交通大学微纳米技术研究所:用于微纳米器件的研究。
  • 中科院合肥物质科学研究院:用于新材料的性能测试。

HITACHI SU7000扫描电子显微镜售后服务支持:

  • 服务内容:提供专业的安装和调试服务,确保设备正常运行。
  • 定期维护:建议每年进行一次全面的维护,包括硬件检查和软件更新。
  • 校准服务:按照国际标准对设备进行校准,保证测试结果的准确性。
  • 热线支持:提供24小时技术热线,解决用户在使用过程中遇到的技术问题。
  • 在线支持:通过邮件和在线聊天工具提供技术咨询。
  • 原厂配件:提供原厂认证的配件和耗材,确保设备的长期稳定运行。
  • 用户培训:为操作人员提供设备使用和维护的培训,确保用户熟练掌握操作技能。
  • 定期研讨会:定期举办用户交流会,分享最佳实践和最新技术。

相关产品:

透射电子显微镜(TEM):用于观察样品的内部结构,提供更高的分辨率。

原子力显微镜(AFM):用于表面形貌的高分辨率成像,补充SEM的观察。

能谱仪(EDS):与SEM联用,进行元素成分分析。

X射线衍射仪(XRD):用于材料的晶体结构分析。

激光粒度仪:用于测量颗粒的大小分布,辅助材料特性研究。

冷冻电子显微镜(Cryo-EM):用于观察生物样品的原位结构,适合生物医学研究。

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