国仪量子 SEM5000Pro场发射扫描电子显微镜
SEM5000Pro是一款性能卓越的场发射扫描电子显微镜,采用先进的电子光学系统和真空技术。加速电压范围为0.5-30kV,可实现纳米级的高空间分辨率成像。超大工作距离(WD≤30mm)和大倾斜角(±60°),适合观察大尺寸和不规则样品。配备多种检测器,如二次电子探测器、背散射电子探测器等,能提供丰富的样品表面信息。
科研实验应用:1、材料科学:金属、陶瓷、高分子等材料的微观形貌及成分分析;2、电子工程:集成电路、电子器件的结构和缺陷检测;3、能源科技:燃料电池、光伏电池等新能源材料的表征;4、生命科学:细胞、病毒等生物样品的超微结构观察;5、地质矿产:矿物、岩石的成分鉴定和微观结构分析。
国仪量子SEM5000Pro场发射扫描电子显微镜规格参数:
关键参数 | 分辨率 | 0.8nm@15kV,SE 1.2nm@1.0kV,SE |
加速电压 | 20V~30kV | |
放大倍率 | 1~2,500,000x | |
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) |
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样品台行程 | X=110mm,Y=110mm,Z=50mm T:-10°~+70°,R:360° |
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探测器 和扩展 |
标配 | 镜筒内电子探测器 旁侧二次电子探测器(ETD) |
选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器(STEM) 能谱仪(EDS) 背散射衍射(EBSD) 样品交换仓 轨迹球,旋钮控制板 |
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软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
国仪量子 SEM5000Pro场发射扫描电子显微镜使用方法:
- 样品制备:根据样品的导电性选择适当的预处理方法,如喷金、喷碳等。
- 装载样品:将样品小心放置在样品台上,并调整至合适的工作距离。
- 真空建立:关闭样品室并抽真空,直至达到所需的真空度。
- 调整电子光学系统:设置加速电压、电子束电流、工作距离等参数。
- 成像观察:调整聚焦、光阑、扫描速度等参数,获取高分辨率图像。
- 数据分析:使用专业软件对获取的图像和数据进行分析处理。
- 清洁保养:观察完毕后,关闭仪器并对样品室、检测器等进行清洁。
国仪量子 SEM5000Pro场发射扫描电子显微镜有哪些实验室在用:
- 中南大学微观结构材料与设备国家重点实验室
- 中国科学院上海硅与微系统研究所
- 中国科学技术大学微电子学院
- 华中科技大学材料科学与工程学院
- 西安交通大学半导体器件国家重点实验室
国仪量子 SEM5000Pro场发射扫描电子显微镜售后服务支持:
- 在保修期限内,如果出现任何因制造或材料缺陷造成的问题,将免费为您维修或更换相关部件。
- 保修期内的人为损坏、误操作或不当使用造成的故障则不在免费保修范围内。
- 在SEM5000Pro使用过程中,如果遇到任何技术问题,我们的专业工程师都将提供快速响应和全面支持。
- 包括电话咨询、远程诊断、现场维修等多种服务方式,确保您的仪器能持续稳定运行。
- 定期组织SEM5000Pro的专业培训班,邀请资深应用专家授课。培训内容涵盖样品制备、操作流程、数据分析等方方面面,帮助用户快速掌握仪器使用技巧。
- 对于客户的特殊需求,如定制化样品预处理设备、软件二次开发等,都可以提供专业的解决方案。
相关产品:
EDS能谱分析系统:可与SEM5000Pro无缝集成,实现样品元素成分的定性定量分析。
离子溅射镀膜机:为SEM样品制备提供优质的导电涂层,提高成像分辨率和清晰度。
样品预处理工作站:集成离子刻蚀、超声清洗等多种样品预处理功能于一体。可有效解决SEM观察所需的各类固体样品制备难题。
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