CIQTEK国仪量子 SEM5000X场发射扫描电子显微镜

 

SEM5000X场发射扫描电子显微镜分辨率达到0.6nm（在15kV下）和1.0nm（在1kV下），采用高压隧道技术（SuperTunnel）配备高精度机械优中心样品台，支持最大8寸晶圆（直径208mm）的快速换样，超稳定的机架减震设计，样品仓扩展接口增加至16个，支持多种实验需求。

科研实验应用：1、材料科学：用于材料的微观结构分析，帮助研究材料的性能和特性；2、生物学：在生物样品的观察中，提供高分辨率的成像，支持细胞和组织的研究；3、半导体工业：用于半导体芯片的缺陷检测和质量控制，确保产品的可靠性；4、化学分析：用于化学样品的表面形貌观察。

CIQTEK国仪量子 SEM5000X场发射扫描电子显微镜技术参数：

关键参数	分辨率	0.6nm@15kV，SE
		1.0nm@1kV，SE
	加速电压	20V~30kV
	放大倍率	1~2,500,000x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪
样品室	摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）
	样品台行程	X=110mm，Y=110mm，Z=65mm
		T:-10°~+70°，R:360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器（Inlens）
		仓室内电子探测器（ETD）
	选配	插入式背散射电子探测器（BSED）
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		低真空二次电子探测器（LVD）
		能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		样品交换仓（4寸和8寸可选）
		轨迹球&旋钮板
		双减速技术（Duo-Dec）
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配）
	图像记录	TIFF、JPG、PNG、BMP等
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

CIQTEK国仪量子 SEM5000X场发射扫描电子显微镜使用方法：

1. 设备准备：确保SEM5000X连接到电源和冷却系统，检查所有连接是否正常。
2. 样品准备：将待观察的样品固定在样品台上，确保样品表面清洁。
3. 设置参数：在控制面板上设置加速电压、放大倍数等参数。
4. 启动设备：按下启动按钮，设备开始预热和自检。
5. 进行成像：选择合适的扫描模式，开始对样品进行成像，实时监控图像质量。
6. 数据记录：完成成像后，保存图像数据并进行后续分析。
7. 关机与维护：实验结束后，关闭设备并进行必要的清理和维护。

CIQTEK国仪量子 SEM5000X场发射扫描电子显微镜哪些实验室在用：

• 中国科学技术大学理化科学实验中心：用于材料科学和生物学的微观结构分析。
• 四川大学：在材料研究和半导体工业中应用。
• 西湖大学：用于生物医学领域的显微成像需求。
• 清华大学：在纳米技术研究中进行高分辨率成像。
• 复旦大学：用于化学样品的表面分析。
• 中山大学：在地质学研究中应用，分析矿物的微观结构。

CIQTEK国仪量子 SEM5000X场发射扫描电子显微镜售后服务支持：

• 服务内容：提供专业的安装和调试服务，确保设备正常运行。
• 定期维护：建议每年进行一次全面的维护，包括硬件检查和软件更新。
• 校准服务：按照国际标准对设备进行校准，保证测试结果的准确性。
• 热线支持：提供24小时技术热线，解决用户在使用过程中遇到的技术问题。
• 在线支持：通过邮件和在线聊天工具提供技术咨询。
• 原厂配件：提供原厂认证的配件和耗材，确保设备的长期稳定运行。
• 用户培训：为操作人员提供设备使用和维护的培训，确保用户熟练掌握操作技能。
• 定期研讨会：定期举办用户交流会，分享最佳实践和最新技术。

相关产品：

透射电子显微镜（TEM）：用于更高分辨率的内部结构分析，补充SEM的观察。

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