国仪量子 HEM6000高速扫描电子显微镜
HEM6000扫描电子显微镜采用高亮度大束流电子枪和高速电子偏转系统,确保成像质量和速度。该显微镜的成像速度是常规场发射扫描电镜的5倍以上,适合大面积样品的快速成像。全自动上下样流程和采图作业,放大倍数范围从66x到1,000,000x。

科研实验应用:1、半导体工业:用于芯片结构的成像和缺陷分析;2、生命科学:在生物医学研究中进行细胞和组织的高分辨成像;3、材料科学:分析材料的微观结构和成分;4、地质科学:用于矿物和岩石样品的成像和分析;5、纳米技术:研究纳米材料的形貌和特性。
国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜参数:
| 关键参数 | 分辨率 | 1.3nm@3kV,SE;1.5nm@1kV,SE | |
| 1.9nm@3kV,BSE;2.3nm@1kV,BSE | |||
| 0.9nm@30kV,STEM | |||
| 加速电压 | 100V~6kV(减速模式) | ||
| 6kV~30kV(非减速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
| 物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
| 偏转系统 | 静电偏转器 | ||
| 样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制,无油真空系统 | |
| 样品监控 | 样品仓监控水平摄像头;换样仓监控垂直摄像头 | ||
| 样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
| 样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台) | |
| 行程 | X、Y轴:110mm;Z轴:16mm; | ||
| 重复定位精度 | X轴:±0.6μm;Y轴:±0.3μm; | ||
| 换样方式 | 全自动控制 | ||
| 换样时间 | <15min | ||
| 换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
| 图像采集与处理 | 驻点时间 | 10ns/pixel | |
| 图像采集速度 | 2*100Mpixel/s | ||
| 图像大小 | 24K*24K | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
| 选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
| 镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
| 明场透射电子探测器 | |||
| 高角/中角/底角暗场透射电子探测器 | |||
| 压电驱动样品台 | |||
| 高分辨大场模式 | |||
| 样品仓等离子清洗系统 | |||
| 6英寸样品装载系统 | |||
| 主动减震台 | |||
| AI降噪;大图拼接;三维重构 | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
| 自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | ||
国仪量子 HEM6000高速扫描电子显微镜使用方法:
- 设备准备:确保显微镜已正确连接电源,检查各部件状态。
- 样品准备:将待观察样品固定在样品台上,确保样品表面平整。
- 设置参数:根据实验需求设置加速电压、放大倍数和成像模式。
- 启动显微镜:打开显微镜,进行自检和预热。
- 成像:启动成像程序,实时监控图像质量,调整焦距和对比度。
- 数据记录:保存成像数据,进行后续分析和处理。
国仪量子 HEM6000高速扫描电子显微镜哪些实验室在用:
- 西湖大学生物医学实验技术中心:用于生物样品的高分辨成像和三维重构研究。
- 中国科学技术大学理化科学实验中心:进行材料科学和纳米技术的研究。
- 复旦大学材料科学与工程学院:分析新材料的微观结构。
- 上海交通大学半导体研究所:用于芯片缺陷分析和结构成像。
- 中科院地质与地球物理研究所:研究矿物和岩石样品的微观特性。
- 北京大学环境科学与工程学院:分析环境样品中的污染物。
国仪量子 HEM6000高速扫描电子显微镜售后服务支持:
- 保修期:设备通常提供一定期限的保修期,涵盖制造缺陷和材料问题。
- 备件供应:确保常用备件的及时供应,减少设备停机时间。
- 软件更新:定期提供软件升级服务,添加新功能和修复已知问题。
- 硬件升级:可根据需求提供硬件升级服务,提升设备性能。
- 问题响应:针对客户反馈的问题,提供快速响应和解决方案。
- 保修范围:在保修期内,涵盖设备的材料和工艺缺陷。
- 在线资源:提供用户手册、操作指南和常见问题解答(FAQ)的在线访问。
- 满意度调查:定期进行客户满意度调查,收集反馈以改进服务质量。
相关产品:
聚焦离子束显微镜(FIB):用于样品的精细加工和缺陷修复。
高效液相色谱仪(HPLC):用于样品成分的分离和定量分析。
质谱仪(MS):分析样品的分子结构和成分。
冷冻电子显微镜(Cryo-EM):用于生物大分子的三维结构解析。
电泳仪:用于分离生物分子,如DNA和蛋白质。
温湿度记录仪:监测实验环境的温湿度,确保实验条件的稳定性。
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