BRUKER Hysitron Premier纳米压痕仪

BRUKER Hysitron TI Premier纳米压痕仪以紧凑的尺寸实现卓越的价值。具有用于从传统材料到最先进的薄膜等的定量纳米到微米机械表征的工具。获得专利的电容式传感器可实现可靠的纳米级机械和摩擦学性能测量。

常见应用：薄膜材料力学性能评价微电子组件材料与界面压痕试验、半导体器件研究、硬质涂层、聚合物、金属、陶瓷、高温合金、超软金属。为多领域新材料力学性能研究与应用提供有力支撑。

BRUKER Hysitron TI Premier纳米压痕仪应用关联成果：

• 二氧化钛纳米膜的力学性能研究。测定了不同膜厚下的硬度和弹性模量规律。
• 碳纳米管强化聚合物复合材料的微观机理探究。厘清了纳米管转移负载的机理。
• 高K介电薄膜在垂直和水平方向的弹性模量差异分析。阐明了不同取向对器件性能的影响。
• 伯克耐高温材料在不同温度下的弹性模量研究。优化烧结工艺和应用环境。

BRUKER Hysitron TI Premier纳米压痕仪的主要使用方法和操作步骤：

• 装载样品。使用支架将样品固定在载板上，并加载入模组中。
• 基准设置。通过高分辨AFM扫描调整样品表面与探头表面垂直度，并设定移动范围。
• 参数配置。选择探头材质和载荷率，设置载荷和释放速度、时间等工作参数。
• 测试开始。耦合杆和PI巧合控制系统驱动探头向下运动载荷于样品表面。
• 力-位移曲线记录。记录整个压痕成形过程中的载荷与位移变化关系曲线。
• 压痕形貌扫描。释放载荷后使用AFM扫描压痕形状细节进行评价。
• 参数提取。从曲线数据中提取材料相关力学参数如硬度、弹性模量等。
• 分析与报告。对测试结果进行整理分析，输出报告或论文形式介绍研究成果。
重复测试。针对不同条件下重复实验，以获取可靠结论。

BRUKER Hysitron TI Premier纳米压痕仪有哪些实验室在用：

• 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 清华大学先进材料与结构国家实验室
• 中国科学技术大学先进功能材料国家实验室
• 北京大学先进制造技术研究院