TESCAN LYRA3扫描电子显微镜

 

LYRA3配备高亮度肖特基场发射电子枪，能够提供高达1.0纳米的分辨率，适合观察微小结构。结合了聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM），可以同时进行材料的切割和成像，Windows平台的操作软件界面友好，易于操作，支持多种图形和数据分析功能。可选配GIS，增强样品表面处理能力。

科研实验应用：：1、材料科学：用于金属、陶瓷和聚合物等材料的微观结构分析；2、纳米技术：在纳米材料的制备和表征中，进行高分辨率成像和分析；3、半导体研究：用于集成电路和微电子器件的缺陷分析和质量控制；4、化学工程：在催化剂和反应器材料的研究中，分析其微观结构和性能。

TESCAN LYRA3扫描电子显微镜技术参数：

场发射(FE-SEM)部分：

• 分辨率：高真空(SE)：1.2nm at 30kV，2.0nm at 3kV，3.5nm at 1kV；低真空模式(LVSTD，BSE)：2.0nm at 30kV
• 放大倍数：3tox
• 真空系统：高真空：样品室<9*10-3Pa，枪体真空<1*10-6Pa
• 低真空：7 to 150Pa，高、低真空可随时方便切换
• 加速电压0.2kV to 30Kv
• 电子束电流1pA—2μA

离子束(FIB)部分：

• 分辨率：<5nm at 30kV and 1pA(在SEM-FIB共焦处）
• 放大倍数：150 tox
• 真空系统：枪体真空<5*10-6Pa
• 加速电压0.5kV to 30kV
• 电子束电流：2pA—40nA
• 样品室内部直径：300mm(宽)*330(深)
• 样品室门：280mm(宽) x 310mm(高)
• 样品台行程：X=130m-马达驱动(–50mmto+80mm)；Y=130mm-马达驱动(–65mmto+65mm)；Z=100mm-马达驱动；旋转：360度连马达驱动；倾斜：-30度—90度-马达驱动；样品高度：139mm
• 样品台承重：可达10KG

TESCAN LYRA3扫描电子显微镜使用方法：

1. 设备准备：确保显微镜处于正常工作状态，检查电源和气源连接。
2. 样品准备：根据样品类型进行适当的处理，如镀金或涂层，以提高导电性。
3. 软件启动：打开计算机，启动LYRA3的操作软件，进行用户登录。
4. 真空系统启动：启动真空泵，等待系统达到所需的真空度。
5. 样品放置：将样品固定在样品台上，确保其位置正确。
6. 参数设置：根据样品特性设置加速电压、束流等参数。
7. 成像与分析：选择合适的成像模式，进行观察和数据采集。
8. 数据处理：使用软件对采集的数据进行分析和处理，生成报告。

TESCAN LYRA3扫描电子显微镜哪些实验室在用：

• 清华大学：用于材料科学与工程的微观结构分析。
• 北京大学：在纳米材料研究中应用，进行高分辨率成像。
• 上海交通大学：用于半导体器件的缺陷分析。
• 华南理工大学：在生物医学研究中观察细胞结构。
• 浙江大学：用于环境样品的成分分析。
• 中科院合肥物质科学研究院：在催化剂研究中进行微观结构表征。

TESCAN LYRA3扫描电子显微镜售后服务支持：

• 保修期：设备通常提供一定期限的保修期，涵盖制造缺陷和材料问题。
• 备件供应：确保常用备件的及时供应，减少设备停机时间。
• 软件更新：定期提供软件升级服务，添加新功能和修复已知问题。
• 硬件升级：可根据需求提供硬件升级服务，提升设备性能。
• 问题响应：针对客户反馈的问题，提供快速响应和解决方案。
• 保修范围：在保修期内，涵盖设备的材料和工艺缺陷。
• 在线资源：提供用户手册、操作指南和常见问题解答（FAQ）的在线访问。
• 满意度调查：定期进行客户满意度调查，收集反馈以改进服务质量。

相关产品：

能量色散光谱仪（EDS）：用于样品成分分析，提供元素分布信息。

电子背散射衍射仪（EBSD）：用于晶体结构分析，研究材料的晶粒取向。

聚焦离子束（FIB）系统：用于样品的切割和制备，特别是TEM样品的制备。

原位拉伸装置：用于在显微镜下观察材料的力学性能。

X射线光电子能谱仪（XPS）：用于表面化学分析，研究材料的化学状态。

纳米压入仪：用于测量材料的硬度和弹性模量，分析材料的力学性能。