成本大降，Nature：卷对卷纳米压印突破，可见光超透镜实现工业化量产

来自 实验室仪器网

国际顶级期刊《Nature》刊发重磅成果：韩国成均馆大学与浦项科技大学联合团队，采用卷对卷紫外纳米压印技术，首次实现可见光超透镜高通量、低成本、工业化量产，生产速度高达每秒300个，成本与传统透镜相当甚至更低，彻底打通超表面光学从实验室到产业化的最后一公里。

超透镜具备轻薄、高数值孔径、消色差等优势，是下一代光学成像核心器件，但长期受限于高成本、低良率、工艺复杂，难以规模化应用。团队创新开发卷对卷全自动量产方案：先在300毫米晶圆制备超透镜母版，再复制为柔性聚合物模具，在200米长、275毫米宽PET薄膜上连续压印成型，最小特征分辨率达80纳米，大幅降低模具与制造成本。

为提升光学效率，研究采用树脂+原子层沉积二氧化钛混合材料策略，在超原子表面包覆23纳米高折射率TiO₂薄膜，使光转换效率从10%跃升至90%，在450—635纳米波段实现68%—90%的高效率。实测显示，300毫米晶圆级阵列平均聚焦效率约49%，标准差仅2.9%，200米卷材全域性能稳定，工艺鲁棒性优异。

该技术突破超透镜量产“卡脖子”难题，具备高速、低成本、大面积、高均匀性四大优势，可广泛应用于手机摄像、AR/VR、医疗成像、激光雷达、微型传感器等领域。此项成果标志着超表面光学正式进入产业化时代，将重塑全球高端光学元件产业链格局。

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