超痕量检测，国产sub-ppt级ICP-MS/MS问世，谱育科技发布EXPEC 7350S Plus

来自 实验室仪器网

聚光科技旗下谱育科技推出EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS），面向半导体先进制程打造，实现sub-ppt级（十万亿分之一）超痕量金属检测，打破国外高端检测设备垄断，为12英寸晶圆制造提供全自主可控解决方案。

随着芯片制程不断精进，金属杂质已成为影响良率的关键因素，先进制程对检测精度要求已下探至sub-ppt甚至ppq级。长期以来，该领域高端仪器设备依赖进口，供应链与数据安全存在隐患。

谱育EXPEC 7350S Plus的问世，标志着国产科学仪器在超痕量检测领域实现关键跃升。该仪器基于成熟ICP-MS平台专项升级，具备四大核心优势：

1、核心软硬件全自主可控，从关键部件到软件源码完全自研，搭配智能水气防漏报警系统，保障设备与数据安全；

2、检出限达sub-ppt级，搭载自主研发离子传输系统与接口，精准捕获微量金属杂质，性能对标国际头部产品；

3、支持VPD全自动联用，兼容8/12英寸晶圆及多种衬底材料，实现全流程自动化检测，大幅提升通量与稳定性；

4、敏捷定制化服务，快速响应本土产线需求，适配国产替代与技术迭代节奏。

谱育EXPEC 7350S Plus可广泛应用于晶圆表面离子分析、高纯湿电子化学品、电子特气、高纯金属靶材检测等场景，直接支撑先进半导体制造良率提升。

此次突破不仅填补国内高端ICP-MS/MS装备空白，更构建起“自主研发—产业落地—产线适配”的完整链条，助力我国半导体关键检测设备实现自主可控，为高端制造产业安全与高质量发展提供硬核支撑。

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