CYKY CY-P10L-300W等离子清洗机

 

CY-P10L-300W等离子清洗机10升容量，300W功率设计，采用低气压激发等离子作为清洗介质，有效避免了液体清洗介质对清洗物体造成的二次污染。配备有机械真空泵，短时间的清洗就能将有机污染物彻底清洗干净。采用13.56Mhz射频电源，可匹配多种常用气体等离子，可满足用户多样化需求。

科研实验应用：1、半导体行业：用于晶圆清洗和表面改性，提高后续工艺中的附着力和电性能；2、光电材料：清洗光学元件和光电材料，去除表面污染；3、生物医药：材料表面处理，增强生物相容性，适用于植入物和医疗器械；4、材料科学：在材料研究中，进行表面改性和清洗；5、汽车和航空航天：清洗零部件表面，确保喷涂和涂层的附着力。

CYKY CY-P10L-300W等离子清洗机技术参数：

主要部件	项目	参数
清洁腔室	腔体材质	高纯度石英
	腔室尺寸	直径200毫米；长度340毫米
射频电源	电源特性	该电源为全固态射频电源，采用高稳定性、高可靠性的功放模块及直流模块，有效保证了电源的射频功率输出。采用高品质的电子元器件，保证了产品的可靠性。
	动力优势	长时间正常运行、操作简便灵活、电源效率高、发热量低、具有完善的反射功率保护功能
	射频功率	0~300W连续可调
	信号频率	13.56MHz±0.005%
	反射功率	≤100W​
	电源稳定性	±0.1%
	射频连接器	N型连接器
	机器效率	≥75%
	谐波分量	≤-50dBc
	冷却方式	强制风冷
气体测量	測量單元	浮子流量计
	气通道	双通道
	频道范围	10～100毫升
	B通道范围	16～160毫升
真空	真空测量	数字真空计（电阻计）
	真空泵	双级旋片真空泵
	电机转速	50赫兹：1440；60赫兹：1720
	抽气速率	50赫兹：1.1升/秒；60赫兹：1.3升/秒
	真空范围	0.1Pa～10000Pa
	极限真空	0.5帕
	电机噪音	≤56分贝
	管道接口	进气口：KF16；排气口KF16。
	连接管	KF16真空波纹管
	真空阀	电磁阀
	电机功率	400瓦
其他的	电源	交流220V50/60Hz
	总功率	800瓦
	工作温度	-10℃-40℃
	工作真空	≤40Pa​
	整体尺寸	600毫米×650毫米×560毫米
	总重量	80kg（含包装）

CYKY CY-P10L-300W等离子清洗机使用方法：

1. 准备工作：确保设备在平稳的工作台上，检查电源和气体连接是否正常。
2. 样品放置：将待处理样品放置在设备的清洗室内，确保稳定。
3. 设置参数：根据样品材料和清洗需求，设置适当的气体流量、压力和处理时间。
4. 启动设备：启动等离子清洗机，观察设备的运行状态和等离子体的稳定性。
5. 监控过程：在清洗过程中，监控设备的工作状态，确保正常运行。
6. 结束清洗：清洗结束后，关闭设备，取出样品，进行后续分析。
7. 清洁与维护：定期对设备进行清洁和维护，确保其长期稳定运行。

CYKY CY-P10L-300W等离子清洗机有哪些实验室在用：

• 中国科学院微电子研究所：面向高性能集成电路、先进传感器等微电子器件的前沿工艺研究。
• 华南理工大学电子与信息学院：开展先进薄膜材料制备、微纳器件加工及集成技术等研究。
• 上海交通大学微电子学院：服务于新型微纳电子器件及集成电路的工艺开发和应用研究。
• 南京大学电子科学与工程学院设有微纳制造实验室：从事先进半导体器件、光电子器件及集成系统的工艺研究。
• 电子科技大学微电子学院：针对新型微纳电子器件和集成电路的关键工艺技术开展研究。
• 武汉大学光电信息学院：从事光电子器件、MEMS器件等微纳加工技术的研究与开发。

CYKY CY-P10L-300W等离子清洗机售后服务支持：

• 保修服务：提供一定期限的有限保修，涵盖材料和工艺缺陷。
• 技术支持：提供电话和在线支持，帮助用户解决设备操作及技术问题。
• 现场服务：根据需要提供现场技术支持和设备故障诊断，确保用户能够快速恢复使用。
• 定期维护：建议用户进行定期维护，确保设备的性能和使用寿命。
• 用户培训：提供设备操作培训，帮助用户熟悉设备功能和使用方法。
• 软件和固件更新：定期发布软件和固件更新，提升设备性能和用户体验。
• 零配件供应：提供原厂零配件，确保设备在保修期外的更换和维护。
• 反馈机制：鼓励用户提供反馈，持续改进产品和服务质量。

相关产品：

真空干燥箱：用于在等离子清洗前后对样品进行干燥，去除水分和其他挥发性物质。

气相色谱仪（GC）：用于分析清洗后样品表面的化学成分，评估清洗效果。

扫描电子显微镜（SEM）：观察清洗前后样品的表面形貌，分析清洗对表面结构的影响。

表面能测量仪：测量材料的表面能和润湿性，评估等离子处理对表面性质的改性效果。

红外光谱仪（FTIR）：用于分析表面化学变化，检测清洗后表面官能团的变化。

热重分析仪（TGA）：评估材料的热稳定性和分解特性，以了解清洗对材料性质的影响。