速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪

 

速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪基于经典的激光曲率法（Stoney公式），采用先进的矩阵激光点阵扫描技术，能够精确测量薄膜的曲率半径和应力。635nm波长/5mW，具备独特的双模扫描模式，用户可以选择不同的应用场景进行薄膜应力分布的Mapping或快速表征样品的整体平均残余应力。

科研实验应用：1、薄膜应力测量：测量各种薄膜（如多晶硅、氧化物、氮化物等）的内应力；2、材料性能优化：通过应力分析优化薄膜的沉积过程和工艺参数，如温度、压力和沉积速率；3、缺陷检测：识别薄膜中的缺陷，如裂纹和不均匀性；4、材料研发：在新材料的研发过程中，提供应力数据支持，以优化材料配方和制备工艺。

速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪技术参数：

• 基本原理：激光曲率法/基于Stoney公式
• 主要方法：采用5×5激光点阵对样品进行扫描测量，635nm波长/5mW
• 主要功能：自动测量计算曲率半径和薄膜应力
• 扫描模式：Mapping面扫模式（主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布）L—D线扫模式（快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力）
• 薄膜应力测试范围：5MPa~5GPa
• 曲率半径测试范围：2-200m
• 曲率半径重复精度：<1%（曲率半径<20m），<3%（曲率半径<100m）
• 扫描最小步长：0.1mm
• 扫描最多点数：>1万点
• 样品最大尺寸：M100型号：4英寸；M200型号：8英寸样品
• 最小尺寸：>15*15mm样品
• 样品基片校正：可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）
• 电源：110-220VAC200WattsMaximum
• 通讯连接端口：USB3.0
• 工作温度：0~50°C
• 操作软件：可视化2D/3D显示，视窗界面/适用于Windows7/Windows10系统
• 操作电脑：标配台式一体机：显示器>21英寸，8G内存，IntelCPU，256G硬盘M100型号：~950×400×480mm
• 外形尺寸：M200型号：~1050×500×480mm
• 重量：~40Kg

速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪使用方法：

1. 设备检查与准备：检查仪器的电源、连接电缆和传感器是否正常。
2. 样品准备：准备待测试的薄膜样品，确保其表面干净且平整。
3. 样品装载：将样品放置在测试平台上，确保其位置正确，牢固固定。
4. 设定实验参数：在控制软件中输入所需的实验参数，包括测量模式、温度和测量时间等。
5. 校准仪器：进行仪器的校准，以确保测量结果的准确性。
6. 开始测量：启动测试，实时监控仪器的读数，记录应力数据。
7. 数据记录与分析：保存测试结果，使用软件分析数据，生成应力曲线和报告。
8. 样品取出与清理：测量完成后，取出样品，清理测试平台，保持设备整洁。
9. 关机与维护：完成所有操作后，关闭设备，进行必要的维护和清理工作。

速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪有哪些实验室在用：

• 中国科学院微电子研究所薄膜工艺实验室
• 清华大学电子工程系微电子工艺实验室
• 上海交通大学微电子学院器件材料实验室
• 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
• 武汉大学光学与电子信息学院光电子实验室
• 华中科技大学材料科学与工程学院光学薄膜实验室

速普SuPro FST2000薄膜应力测试仪售后服务支持：

• 标准保修期：提供一定期限的质保期，涵盖因制造缺陷或材料问题导致的故障。
• 延长保修：可根据客户需求提供延长保修服务。
• 在线支持：通过电子邮件和在线客服平台，用户可以获得技术咨询和故障排除指导。
• 电话支持：提供专业的电话支持，帮助用户解决操作和维护中的问题。
• 故障诊断：在设备发生故障时，提供现场技术人员进行诊断和修复服务。
• 定期检查：可提供定期的现场维护检查，确保设备的稳定性和准确性。
• 维护计划：建议用户根据设备使用频率进行定期维护，以延长设备的使用寿命。
• 校准服务：提供专业的校准服务，确保仪器的测量准确性，符合行业标准。

相关产品：

扫描电子显微镜 (SEM)：用于观察薄膜表面形貌，结合应力测试提供微观结构信息。

X射线衍射仪 (XRD)：分析薄膜的晶体结构，结合应力数据进行综合材料评估。

傅里叶变换红外光谱仪 (FTIR)：用于分析薄膜的化学成分，结合应力分析进行材料特性研究。

热重分析仪 (TGA)：评估薄膜的热稳定性，结合应力测试的结果进行材料性能优化。

原子力显微镜 (AFM)：用于表征薄膜的表面粗糙度和形貌，提供更详细的微观分析。