TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机

 

TS-PL60MA采用13.56MHz的射频电源,能够在1-70Pa的真空度下进行表面处理,适合多种材料的清洗、活化和改性。真空腔体采用进口316不锈钢,确保耐腐蚀性和长期稳定性。设备配备5层托盘,能够同时处理多个样品,提高工作效率。配备PLC和触摸屏控制系统,操作简便。

TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机

科研实验应用:1、材料科学:用于研究材料表面的物理化学性质变化;2、半导体制造:在半导体器件的生产过程中进行表面清洗和活化;3、生物医学:用于医疗器械的表面处理,提高生物相容性;4、涂层技术:改善涂层材料的附着力和耐久性。

TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机技术参数:

型号 TS-PL60MA
外形尺寸 W1150*D880*H1600
腔体尺寸(mm) W400*H400*D400
真空腔体 进口316不锈钢
射频电源 13.56MHz
工作真空度 1-70Pa
托盘 5层
控制系统 PLC+触摸屏
电源 AC380V

TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机使用方法:

  1. 准备工作:确保设备连接电源并正常启动。检查待处理样品的准备情况,确保样品适合等离子处理。
  2. 设置参数:根据样品类型和处理需求设置真空度和处理时间。选择合适的气体(如氧气、氮气等)以优化处理效果。
  3. 放置样品:将待处理样品放置在托盘上,确保样品固定且不互相接触。
  4. 启动设备:关闭反应室门,启动真空泵,抽取腔体内的空气至设定真空度。
  5. 进行处理:启动射频电源,产生等离子体,进行表面处理。
  6. 结束处理:处理完成后,关闭射频电源和真空泵,等待腔体恢复常压后取出样品。

TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机哪些实验室在用:

  • 清华大学:用于材料表面改性研究。
  • 北京大学:在生物医学领域进行医疗器械表面处理。
  • 复旦大学:用于半导体器件的表面清洗和活化。
  • 华中科技大学:研究纺织品的亲水性改性。
  • 南京大学:用于塑料材料的表面处理和改性。
  • 浙江大学:在涂层技术中应用等离子表面处理。

TONSON东信高科 TS-PL60MA真空等离子表面处理机售后服务支持:

  • 电话与在线支持:提供专业的技术咨询,解答用户在操作和维护过程中遇到的问题。
  • 现场服务:技术人员可根据需要到现场进行设备检查和故障排除。
  • 故障诊断与维修:快速响应用户的维修请求,进行故障诊断和必要的维修。
  • 更换零部件:提供原厂零部件的更换服务,确保设备的稳定性和长期使用。
  • 操作培训:为用户提供设备操作培训,确保用户能够熟练使用仪器。
  • 固件与软件升级:定期提供软件和固件的更新服务,以保证设备功能的最新和最佳性能。
  • 用户手册:提供详细的用户手册和操作指南,帮助用户更好地理解和使用设备。
  • 技术文献:提供相关的应用文献和案例分析,支持用户的研究和开发工作。

相关产品:

真空泵:用于抽取腔体内空气,维持所需的真空度。

气体流量计:用于精确控制进入腔体的气体流量,确保等离子体的稳定性。

示波器:用于监测等离子体的电气特性,确保设备正常运行。

温度计:用于监测处理过程中样品的温度变化,避免过热。

电子天平:用于称量待处理样品,确保处理的一致性。

光谱分析仪:用于分析处理后样品的表面化学成分变化。

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