镭测科技 LH3000双频激光干涉仪
LH3000采用双频激光技术,测量精度高,能够有效克服单频激光干涉仪在环境干扰下的不足。适合长距离检测。典型频差7±0.5MHz,测速高达2m/s。可实现对线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度和平面度等多种几何量的检测。自动环境补偿能够在不同温度、湿度和压力环境中进行准确测量。

科研实验应用:1、数控机床校准:用于数控机床的精确校准,确保加工精度;2、三坐标机校准:在三坐标测量机的校准中应用,提升测量的准确性;3、光学平台校准:用于光学平台的精确校准,确保光学实验的可靠性;4、半导体制造:在半导体制造过程中进行高精度的线性位移测量。
镭测科技LH3000双频激光干涉仪技术参数:
| 双频激光频差 | 7±0.5MHz |
| 激光稳频精度 | ±0.03ppm |
| 真空波长 | 632.99nm |
| 激光功率 | >0.5mW |
| 激光光束直径 | 6mm |
| 波长补偿精度 | ±0.4ppm |
| 预热时间 | <10分钟 |
| 双频激光头尺寸(重量) | 230mmx125mmx80mm(2.60kg) |
| 测量长度范围 | 0-40m |
| 测量精度 (使用LC-2000环境补偿器) | ±0.4ppm* (±0.4μm/m)* |
| 指定精度范围 | 0℃-40>℃ |
| 分辨率 | 1nm |
| 最高测量速度 | 2m/s |
| 系统测量能力 | 线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度 |
| 接口 | 内置USB通讯端口,无需单独接口 |
| 触发脉冲输入 | 是 |
| 动态采集频率 | 0.1Hz-100kH |
| 注:精度值不包括将材料温度归一化为20℃时与其有关的误差 | |
镭测科技LH3000双频激光干涉仪使用方法:
- 设备准备:将LH3000双频激光干涉仪放置在稳定的工作台上,确保设备连接正常。
- 选择测量模式:根据需要选择合适的测量模式(如线性位移、角度等)。
- 样品放置:将待测样品固定在测量位置,确保其稳定。
- 调整光学组件:根据测量需求,调整光学组件以获得最佳的测量效果。
- 开始测量:启动设备,进行数据采集,观察测量过程中的干涉图样。
- 数据分析:测量完成后,使用配套软件进行数据处理和分析,生成测量报告。
镭测科技LH3000双频激光干涉仪哪些实验室在用:
- 清华大学:用于数控机床的精确校准。
- 北京大学:在光学实验中进行光学平台的校准。
- 华南理工大学:用于半导体制造过程中的线性位移测量。
- 浙江大学:在航空航天领域进行关键部件的性能测试。
- 南京大学:用于科研院所的基础研究和实验室测试。
- 西安交通大学:在三坐标机的校准中应用,提升测量的准确性。
镭测科技LH3000双频激光干涉仪售后服务支持:
- 服务内容:提供专业的安装和调试服务,确保设备正常运行。
- 定期维护:建议每年进行一次全面的维护,包括硬件检查和软件更新。
- 校准服务:按照国际标准对设备进行校准,保证测试结果的准确性。
- 热线支持:提供24小时技术热线,解决用户在使用过程中遇到的技术问题。
- 在线支持:通过邮件和在线聊天工具提供技术咨询。
- 原厂配件:提供原厂认证的配件和耗材,确保设备的长期稳定运行。
- 用户培训:为操作人员提供设备使用和维护的培训,确保用户熟练掌握操作技能。
- 定期研讨会:定期举办用户交流会,分享最佳实践和最新技术。
相关产品:
光学显微镜:用于观察样品的微观结构,辅助干涉测量。
激光测距仪:用于快速测量样品的几何尺寸,确保与干涉测量数据的一致性。
数据采集系统:记录和分析测量数据,支持科研实验的深入研究。
温度测试仪:监测样品在测量过程中的温度变化,确保测量的准确性。
振动测试仪:用于检测环境振动对测量结果的影响,确保测量的稳定性。
计算机辅助设计(CAD)软件:用于分析和处理测量数据,生成可视化报告。
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