镭测科技 LH3000双频激光干涉仪

 

LH3000采用双频激光技术,测量精度高,能够有效克服单频激光干涉仪在环境干扰下的不足。适合长距离检测。典型频差7±0.5MHz,测速高达2m/s。可实现对线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度和平面度等多种几何量的检测。自动环境补偿能够在不同温度、湿度和压力环境中进行准确测量。

镭测科技 LH3000双频激光干涉仪

科研实验应用:1、数控机床校准:用于数控机床的精确校准,确保加工精度;2、三坐标机校准:在三坐标测量机的校准中应用,提升测量的准确性;3、光学平台校准:用于光学平台的精确校准,确保光学实验的可靠性;4、半导体制造:在半导体制造过程中进行高精度的线性位移测量。

镭测科技LH3000双频激光干涉仪技术参数:

双频激光频差 7±0.5MHz
激光稳频精度 ±0.03ppm
真空波长 632.99nm
激光功率 >0.5mW
激光光束直径 6mm
波长补偿精度 ±0.4ppm
预热时间 <10分钟
双频激光头尺寸(重量) 230mmx125mmx80mm(2.60kg)
测量长度范围 0-40m
测量精度 (使用LC-2000环境补偿器) ±0.4ppm* (±0.4μm/m)*
指定精度范围 0℃-40>℃
分辨率 1nm
最高测量速度 2m/s
系统测量能力 线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度
接口 内置USB通讯端口,无需单独接口
触发脉冲输入
动态采集频率 0.1Hz-100kH
注:精度值不包括将材料温度归一化为20℃时与其有关的误差

镭测科技LH3000双频激光干涉仪使用方法:

  1. 设备准备:将LH3000双频激光干涉仪放置在稳定的工作台上,确保设备连接正常。
  2. 选择测量模式:根据需要选择合适的测量模式(如线性位移、角度等)。
  3. 样品放置:将待测样品固定在测量位置,确保其稳定。
  4. 调整光学组件:根据测量需求,调整光学组件以获得最佳的测量效果。
  5. 开始测量:启动设备,进行数据采集,观察测量过程中的干涉图样。
  6. 数据分析:测量完成后,使用配套软件进行数据处理和分析,生成测量报告。

镭测科技LH3000双频激光干涉仪哪些实验室在用:

  • 清华大学:用于数控机床的精确校准。
  • 北京大学:在光学实验中进行光学平台的校准。
  • 华南理工大学:用于半导体制造过程中的线性位移测量。
  • 浙江大学:在航空航天领域进行关键部件的性能测试。
  • 南京大学:用于科研院所的基础研究和实验室测试。
  • 西安交通大学:在三坐标机的校准中应用,提升测量的准确性。

镭测科技LH3000双频激光干涉仪售后服务支持:

  • 服务内容:提供专业的安装和调试服务,确保设备正常运行。
  • 定期维护:建议每年进行一次全面的维护,包括硬件检查和软件更新。
  • 校准服务:按照国际标准对设备进行校准,保证测试结果的准确性。
  • 热线支持:提供24小时技术热线,解决用户在使用过程中遇到的技术问题。
  • 在线支持:通过邮件和在线聊天工具提供技术咨询。
  • 原厂配件:提供原厂认证的配件和耗材,确保设备的长期稳定运行。
  • 用户培训:为操作人员提供设备使用和维护的培训,确保用户熟练掌握操作技能。
  • 定期研讨会:定期举办用户交流会,分享最佳实践和最新技术。

相关产品:

光学显微镜:用于观察样品的微观结构,辅助干涉测量。

激光测距仪:用于快速测量样品的几何尺寸,确保与干涉测量数据的一致性。

数据采集系统:记录和分析测量数据,支持科研实验的深入研究。

温度测试仪:监测样品在测量过程中的温度变化,确保测量的准确性。

振动测试仪:用于检测环境振动对测量结果的影响,确保测量的稳定性。

计算机辅助设计(CAD)软件:用于分析和处理测量数据,生成可视化报告。

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