CHOTEST中图 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪
SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪采用白光干涉技术,能够实现亚纳米级的表面测量,支持垂直扫描干涉模式(VSI)、相移干涉模式(PSI)以及自适应通用测量模式(USI),满足不同测量需求。具备自动聚焦、自动调亮度、自动多区域测量和拼接测量等功能,支持多达300种2D和3D参数的评估。

科研实验应用:1、半导体制造:用于半导体器件的表面质量检测,确保制造过程中的精度和一致性;2、光学加工:在光学元件的生产中进行表面形貌的精确测量,确保光学性能;3、微纳材料研究:对微纳米材料的表面特性进行深入分析,推动材料科学的发展;4、MEMS器件测试:在微机电系统(MEMS)器件的研发中进行表面形貌测量;5、航空航天应用。
CHOTEST中图 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪技术参数:
| 型号 | CHOTEST中图 SuperView W1-Pro | |
| 光源 | 白色/绿色发光二极管 | |
| 视频系统 | 1024×1024 | |
| 标准视野 | 0.98×0.98毫米 | |
| 最大视野(可选) | 6.0×6.0毫米 | |
| 对象 表 | 尺寸 | (320×300)mm |
| 旅行范围 | (200×200)mm | |
| 负载能力 | 10千克 | |
| 控制方法 | 机动化 | |
| 倾斜 | ±5手动 | |
| Z轴行程范围 | 100毫米机动 | |
| Z轴行程扫描范围 | 10毫米 | |
| Z轴扫描速度 | 45μm/s | |
| Z轴分辨率 | 0.1纳米 | |
| 横向分辨率 | 0.1μm | |
| 测试对象的特征 | 超平滑表面,粗糙表面;反射率0.05%~100% | |
| 准确度 | 准确度 | 0.3% |
| 重复性 | 0.08% | |
| 电源 | AC100~240V,50/60Hz,4A,300W | |
| 尺寸 | L900*W700*h1500毫米 | |
| 重量 | <160公斤 | |
CHOTEST中图 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪使用方法:
- 样品准备:将待测样品放置在夹具上,确保样品稳定。
- 设备设置:开启CHOTEST中图 SuperView W1-Pro,检查电源和连接状态。
- 选择测量模式:在软件界面上选择适合的测量模式(如VSI或PSI)。
- 调整位置:使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹。
- 开始测量:点击开始测量,仪器将自动进行数据采集。
- 数据分析:测量完成后,使用软件进行数据处理和分析,生成报告。
CHOTEST中图 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪哪些实验室在用:
- 清华大学:用于半导体器件的表面质量检测。
- 北京大学:在光学元件的生产中进行表面形貌测量。
- 华南理工大学:用于微纳米材料的表面特性分析。
- 浙江大学:在汽车零部件的检测中应用。
- 南京大学:用于MEMS器件的表面质量测试。
- 西安交通大学:在航空航天领域进行关键部件的表面检测。
CHOTEST中图 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪售后服务支持:
- 电话与在线支持:提供专业的技术咨询,解答用户在操作和维护过程中遇到的问题。
- 现场服务:技术人员可根据需要到现场进行设备检查和故障排除。
- 故障诊断与维修:快速响应用户的维修请求,进行故障诊断和必要的维修。
- 更换零部件:提供原厂零部件的更换服务,确保设备的稳定性和长期使用。
- 操作培训:为用户提供设备操作培训,确保用户能够熟练使用仪器。
- 固件与软件升级:定期提供软件和固件的更新服务,以保证设备功能的最新和最佳性能。
- 用户手册:提供详细的用户手册和操作指南,帮助用户更好地理解和使用设备。
- 技术文献:提供相关的应用文献和案例分析,支持用户的研究和开发工作。
相关产品:
光学显微镜:用于观察样品的微观结构,辅助表面形貌分析。
扫描电子显微镜(SEM):提供更高分辨率的表面形貌图像,进行详细分析。
粗糙度仪:用于测量表面粗糙度,提供与3D轮廓仪的互补数据。
激光测距仪:用于快速测量样品的几何尺寸,确保与3D测量数据的一致性。
数据采集系统:记录和分析测量数据,支持科研实验的深入研究。
温度测试仪:监测样品在测量过程中的温度变化,确保测量的准确性。
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