纳克微束 FE-1050场发射扫描电镜

 

FE-1050场发射扫描电镜采用新一代的电子光学镜筒，实现1.5nm（1 kV）低压分辨率，放大倍数10x-1,000,000x，适合观察各种材料的微观结构，宽大的真空样品处理空间，可兼容任意第三方厂商的探测器，具备自动化进样功能，配备多角度成像系统，能够以不同角度观察样品，获取更多结构信息。

科研实验应用：1、材料科学：用于研究材料的微观结构、相分布、缺陷分析等，推动新材料的开发；2、纳米技术：在纳米材料的表征和研究中，提供高分辨率的成像支持；3、生物医学：用于观察生物样品的细微结构，帮助理解生物过程和疾病机制；4、电子器件：在半导体器件的研发中，分析微观缺陷和界面特性；5、表面科学。

纳克微束 FE-1050场发射扫描电镜技术参数：

一、电子光学系统

• 电子枪：Schottky场发射
• 物镜类型：非浸没电磁复合透镜
• 加速电压：0.02-30kV
• 束斑电流：10pA至30nA（100nA选配）
• 放大倍数：10x-1,000,000x
• 分辨率：SE：1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV)
• BSE(选配)：2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV)
• STEM：0.8nm（30kV）
  

二、真空系统

• 离子泵（IGP）：25L/s+2X20L/s
• 涡轮分子泵（TMP）：250L/s(N₂）
• 前级真空泵：15m³/h机械泵、无油涡旋机械泵（选配）
• 电子枪真空：<1.0x10-7Pa
• 主样品室极限真空：<1.0x10-4Pa
• 样品室接口数：27个
• 预抽室：50mm样品托盘自动送样4/6英寸晶圆自动送样（选配）
• 预抽室光学导航
  

三、样品运动平台

• 样品台行程：X：140mm；Y：140mm；Z：60mm；R：连续360°；T：-10°~80°
• 重复定位精度：X/Y/Z≤1um（选配）
• 样品最大承重：5kg
  

四、图像处理系统

• 最小驻留时间：20ns
• 采集方式：4通道同步采集
• 最大图像分辨率：24kx24k像素
  

五、数据处理系统

• CPU：IntelXeonE5及以上处理器
• 内存：32G
• 显卡：显存≥24G，位宽≥384bit
• 显示器：34英寸超宽屏显示器
• 控制台：人体工程学可升降操控台

六、探测器系统

• 检测器：能谱仪、波谱仪、电子背散射衍射仪、阴极荧光探测器
• 附件（选配）：聚焦离子束、原位拉伸加热台/制冷台、冷冻转移样品仓等第三方附件设备

纳克微束 FE-1050场发射扫描电镜使用方法：

1. 设备准备：确保设备放置在稳定的工作台上，连接电源并开启设备。
2. 样品准备：准备待测样品，确保样品符合尺寸和形态要求。
3. 真空系统启动：启动真空系统，待主真空腔室达到所需真空度。
4. 样品安装：将样品安装在样品台上，确保其稳固并对准光束路径。
5. 参数设置：根据实验需求设置电子束加速电压、工作距离等参数。
6. 启动成像：启动电子束，观察样品的成像效果，必要时调整焦距和对比度。
7. 数据采集：进行成像和数据采集，保存图像及相关参数。
8. 清洁与维护：测试结束后，清洁样品台及设备表面，确保设备保持良好状态。

纳克微束 FE-1050场发射扫描电镜有哪些实验室在用：

• 北京大学材料科学与工程学院：用于材料科学教学与科研
• 武汉理工大学材料科学与工程学院：用于复合纳米材料研究
• 南京航空航天大学：用于航空材料性能机理探究
• 哈尔滨工业大学：用于表面工程與新能源材料开发性能分析
• 上海交通大学：用于半导体材料微观性质分析研究
• 同济大学化工与纳米技术学院：用于电子陶瓷新材料开发
• 中国科学技术大学：用于能源与环境材料教学研究平台

纳克微束 FE-1050场发射扫描电镜售后服务支持：

• 标准保修期：提供一定期限的保修服务，涵盖因制造缺陷导致的设备故障。
• 延长保修选项：可选择延长保修期，以获得更长期的设备保障。
• 在线支持：通过电话和在线平台提供技术咨询，快速解答用户在操作和维护过程中遇到的问题。
• 现场技术服务：在需要时安排专业技术人员到现场进行支持和指导。
• 快速响应机制：建立故障报告机制，确保用户在遇到问题时能够迅速获得帮助。
• 定期培训：定期举办进阶培训课程，更新用户对设备新功能和技术的了解。
• 原厂配件保障：确保用户能够及时获得高质量的原厂配件，保障设备的正常运行。
• 耗材管理：提供相关耗材的采购支持，确保用户在使用过程中不受影响。

相关产品：

• 透射电子显微镜（TEM）：用于补充分析，提供更高分辨率的样品内部结构信息。
• 原子力显微镜（AFM）：用于表面形貌和力学特性的研究，提供互补数据。
• 光学显微镜：用于对样品的粗略观察，确定样品的初步特性。
• 能谱分析仪（EDS）：与扫描电镜联用，提供元素组成的定性和定量分析。
• X射线衍射仪（XRD）：用于分析材料的晶体结构，提供相信息。