Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪

 

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪支持200amu的质量数范围，能够分析多种气体成分。分辨率小于1amu，确保了对气体成分的准确识别。可选择双涂覆氧化钇铱丝双灯丝或双钨灯丝，适应不同的实验需求。采用电子倍增器（EM）作为检测器，灵敏度高，适合低浓度气体的检测。可检测到2E-12 Pa的最小分压，适合高真空环境的应用。

科研实验应用：1、材料研究：用于研究材料在高温或真空环境下的气体释放特性，评估其热稳定性和化学特性；2、真空系统检测：在真空工艺中，监测系统中的残余气体成分，确保真空环境的纯净度和稳定性。；3、半导体制造：用于半导体行业，检测材料在加工过程中的气体释放，确保产品的质量和性能；4、化学反应监测。

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪参数：

型号	PGT200M
传感器长度	19.6cm
质量数范围	200amu
分辨率（1）	<1amu
灯丝类型选项	双涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝
检测器类型	EM
灵敏度（FC）	2.3E-6A/Pa
灵敏度（EM）	3.8A/Pa
最小可检测分压（2）	2E-12Pa
最大传感器工作温度（FC）	-
最大传感器工作温度（EM）	150℃
温度系数（3）	<1%/℃
最大烘烤温度	300℃
最大数据速率/点	2ms
最大工作压强	6.7E-2Pa
电源输入	24V（DC）
（1）在10%峰高处（2）驻留时间为256ms情况下（3）在8h的时间段内，半小时预热后，仅FC模式

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪使用方法：

1. 设备准备：确保残余气体分析仪处于良好状态，连接电源及必要的气体管路。
2. 样品准备：根据实验需求准备待测样品，确保样品符合测试要求。
3. 设置测试参数：在仪器界面上设置合适的测试参数，包括测量范围和采样时间。
4. 连接样品：将待测样品连接至分析仪的采样口，确保密封良好，防止泄漏。
5. 启动测试：启动仪器进行气体分析，观察仪器显示屏上的实时数据和图表。
6. 数据记录与分析：测试完成后，记录数据并使用软件进行数据分析，生成报告。
7. 设备清理与维护：测试结束后，清洁仪器，定期检查和校准，确保设备的准确性和可靠性。

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪有哪些实验室在用：

• 中国科学院上海微系统与信息技术研究所：用于IC产品气体污染监测分析
• 中国电子科技集团第41研究所：用于新一代集成电路工艺控制与优化
• 中国科学院半导体研究所：用于新型材料芯片工艺开发与监测
• 上海交通大学先进制造技术国家工程实验室：用于生产工艺质量控制
• 中国科学院上海微电子研究所：用于电子元器件结构分析与监测
• 华中科技大学电子与信息学院：用于半导体工艺技术研究与开发
• 北京大学电子工程系：用于新材料工艺流程与设备优化

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪售后使用注意事项：

• 操作人员应穿戴防护服和手套，妥善操作以防烧伤和污染。
• 标质气更换频率按使用情况确定，不得随意更改标质气。
• 采样应远离干扰气体源头，采样管路保持通畅清洁避免阻塞。
• 分析前容器内应充分清空残余气体，严禁混用不同样品气体。
• 分析过程中仪器内部不要打开保护罩，避免对测量有影响。
• 使用后切断气源，关闭主电源，定期维护和校准软硬件。
• 保存分析报告和记录，操作按标准作业流程进行。
• 训练人员操作技巧和应对常见故障处理方法。
• 使用环境要保持规范清洁避免各种交叉污染。

相关产品：

气相色谱仪 (GC)：用于进一步分析气体成分，结合残余气体分析仪的数据，提供更全面的成分分析。

质谱仪 (MS)：用于对气体成分进行定性和定量分析，增强分析的准确性和灵敏度。

真空泵：在真空系统中，与残余气体分析仪协同工作，确保真空环境的稳定性。

热重分析仪 (TGA)：结合使用以评估材料在不同温度下的气体释放特性，提供更全面的材料性能分析。

红外光谱仪 (FTIR)：用于分析气体成分，提供辅助数据以验证残余气体分析的结果。