NANO MASTER NIE-3500（A）离子束清洗系统

 

NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统各种样品架和离子源配置可实现多种应用。样品支架具有±90°倾斜、旋转、水或液氮冷却以及氦背面冷却功能。对于温度敏感的应用，NANO-MASTER技术已证明能够将基板温度保持在70°C以下。还可以通过嵌入压板组件内的加热元件进行加热。

科研实验应用：可以进行各种材料的离子束清洗实验。包括 1、医学科学（生物学、生物化学、生物物理学等领域的离子束清洗实验）；2、工程科学（力学、机械、材料、结构等领域的离子束清洗实验）。

NANO MASTER NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统参数：

• 工作室：14或20立方体形状，材料不锈钢
• 最大基材尺寸：6”（直流）/8”（射频）
• 离子源直径（DC）：最大16厘米
• 离子源电流（直流）：>650mA
• 离子源直径(RF)：最大20厘米
• 离子源电流（RF）：>800mA
• 门：气动
• 平台：转速高达20rpm，倾斜±90°以内，水或氮气冷却
• 基础压力：14"直径腔室中，260l/s涡轮泵为5x10-7torr，680l/s涡轮泵为3x10-7torr，1240l/s涡轮泵为8x10-8torr
• RRG（反应性气体和惰性气体）：氩气、O2、CF4
• 系统管理：使用LabVIEW软件进行PC控制
• 装卸板材：手动和自动

外部连接：

• 电源：208/380/415V，20A/每相，50/60Hz
• 冷却水：7.5升/分钟，3-4巴，18°C
• 压缩的空气：5.5-6.2巴
• 工艺气体：1.4巴
• 吹扫用氮气：1.4巴

NANO MASTER NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统使用方法步骤：

• 根据实验需求，准备合适的样品。
• 将样品安装到全自动离子束清洗机的样品槽中，确保样品表面清洁、平整，没有油污、灰尘等杂质。
• 根据实验需求，设置全自动离子束清洗机参数，如测量范围、测量时间等。
• 按下实验按钮，开始进行实验。
• 实验完成后，分析实验结果，包括测量结果、测量时间等参数。
• 结束实验，关闭全自动离子束清洗机，整理样品和设备。

NANO MASTER NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统有哪些实验室在用：清华大学精密仪器系、中国科学院物理所、北京大学材料学院、南京大学仪器中心。

NANO MASTER NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统售后服务：

• 提供专业的安装调试和操作培训服务；
• 定期保养维护，确保设备稳定运行；
• 保内提供备品备件及时更换服务；
• 技术团队7*24小时在线支持；
• 设备的使用培训服务，以帮助您熟悉设备的操作和维护。

相关产品：

离子溅射仪：薄膜制备。

电子束蒸发镀膜机：金属/陶瓷涂层。

超高真空扫描电镜前置系统：超高真空样品转移。

离子束曝光系统：光刻/表面纳米加工。