Keyence VK-X1000激光显微镜

 

VK-X1000激光显微镜采用404nm激光，能够实现20nm的垂直分辨率和衍射极限的横向分辨率，可在最大50mmx50mm的区域内进行测量，适用于大面积样品的分析。配备先进的图像分析软件，能够测量表面粗糙度、曲率半径、台阶高度、孔隙和突起的体积及表面积等多种表面形态参数。配备自动化工作台和六个物镜，简化了操作流程，提高了测量效率。

科研实验应用：1、材料科学：用于分析材料表面的微观结构和粗糙度，评估材料性能；2、半导体行业：在半导体制造中用于测量薄膜厚度和表面缺陷；3、生物医学：用于生物样品的表面形态分析，帮助研究细胞和组织的结构；4、光学元件：用于光学元件的表面质量检测，确保光学性能。

Keyence VK-X1000激光显微镜技术参数：

型号			VK-X1000
类型			控制器
综合倍率			28,800倍以下*1
视野(最小视野范围)			11µm至7,398µm
帧率(激光测量速度)			4至125Hz、7,900Hz*2
测量原理	光学系统		针孔共聚焦光学系统、变焦
	光接收元件		16bit感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS
	扫描方式		自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能(AAGII)、反射光量不足补充功能(双扫描)
	(常规测量时及图像拼接时)
高度测量	显示分辨率		0.5nm(VK-X1100)、5nm(VK-X1050)
	线性标尺
	动态量程		16bit
	(来自工件的光接收量的适用幅度)
	重复精度σ	激光共聚焦	20倍：40nm、50倍：12nm(VK-X1100)
			20倍：40nm、50倍：20nm(VK-X1050)
		变焦	5倍：500nm、10倍：100nm、20倍：50nm、50倍：20nm(VK-X1100)
			5倍：500nm、10倍：100nm、20倍：50nm、50倍：30nm(VK-X1050)
	高度数据获取范围		70万步骤
	准确性		0.2+L/100µm或更小(L=测量长度µm)*3
宽度测量	显示分辨率		1nm(VK-X1100)、10nm(VK-X1050)
	重复精度3σ	激光共聚焦	20倍：100nm、50倍：40nm(VK-X1100)
			20倍：100nm、50倍：50nm(VK-X1050)
		变焦	5倍：400nm、10倍：400nm、20倍：120nm、50倍：50nm(VK-X1100)
			5倍：400nm、10倍：400nm、20倍：120nm、50倍：65nm(VK-X1050)
	准确性		测量值±2%以内*3
XY载物台结构	手动运行范围		70mmx70mm
	电动运行范围		100mmx100mm
观察	观察图像		超高精细彩色CMOS图像、16bit激光彩色共焦点图像、共焦点+ND滤波器光学系统、C-激光微分干涉图像
	照明		环状照明、同轴落射照明
测量用激光光源	波长		紫色半导体激光404nm(VK-X1100)
			红色半导体激光661nm(VK-X1050)
	最大输出		1mW
	激光产品		2类激光产品(GB7247.1)
电源	电源电压		100至240VAC、50/60Hz
	消耗电流		150VA
重量			约3.0kg

Keyence VK-X1000激光显微镜使用方法：

1. 准备工作：确保显微镜放置在稳定的工作台上，连接电源和计算机。
2. 样品准备：将待测样品固定在自动化工作台上，确保样品表面清洁。
3. 选择测量模式：根据实验需求选择合适的测量模式，如表面粗糙度或薄膜厚度测量。
4. 设置参数：根据样品特性设置激光功率、扫描速度和分辨率等参数。
5. 启动测量：通过控制软件启动测量，显微镜将自动进行扫描。
6. 数据分析：测量完成后，使用软件分析数据，生成报告。
7. 清理与关机：完成实验后，清理工作区域，关闭显微镜。

Keyence VK-X1000激光显微镜有哪些实验室在用：

• 清华大学材料科学与工程系：用于材料表面形貌的分析。
• 北京大学生物医学工程学院：在生物样品研究中进行细胞表面特性测量。
• 复旦大学光学与电子工程系：用于光学元件的表面质量检测。
• 中科院物理研究所：在纳米材料研究中进行表面粗糙度测量。
• 华东理工大学化学工程学院：用于涂层厚度和均匀性分析。
• 中南大学材料科学与工程学院：在半导体材料研究中进行薄膜厚度测量。

Keyence VK-X1000激光显微镜售后服务支持：

• 在线支持：提供在线技术支持，用户可以通过电子邮件或官方网站提交问题。
• 电话支持：专业技术团队可通过电话为用户提供实时帮助。
• 保修期限：提供一定期限的保修服务，具体视购买协议而定。
• 现场维修：提供现场维修服务，确保设备快速恢复正常运行。
• 运输维修：若设备不能现场修复，可以安排运输至服务中心进行维修。
• 维护计划：提供定期维护服务，以确保设备的最佳性能和准确度。
• 校准服务：定期校准设备，确保测量结果的可靠性。
• 用户培训：提供设备操作培训，确保用户能够熟练使用仪器。
• 应用培训：针对特定应用提供培训，以帮助用户发挥设备的最大潜力。

相关产品：

扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品的表面形貌和微观结构，结合VK-X1000进行更详细的分析。

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光学显微镜（Optical Microscope）：用于初步观察样品，结合激光显微镜进行更深入的分析。

白光干涉仪（White Light Interferometer）：用于高精度的表面形貌测量，适合与VK-X1000进行互补分析。

激光共聚焦显微镜（Confocal Laser Scanning Microscope）：用于三维成像，结合VK-X1000进行更全面的表面分析。

X射线衍射仪（XRD）：用于材料的晶体结构分析，结合VK-X1000进行表面特性与内部结构的综合研究。