ZEISS Sigma300扫描电子显微镜

ZEISS Sigma300扫描电子显微镜利用Sigma直观的4步工作流程构建您的成像和分析例程并提高工作效率。将比以往更快地捕获更多数据。从多种探测器选项中进行选择，以根据您的应用精确定制Sigma：您可以对颗粒、表面、纳米结构、薄膜、涂层和层进行成像。

主要科研应用：材料微观组织结构分析、纳米材料形态表征、微电子元器件缺陷观察、材料破损位点分析、生物样品表面观察等。

ZEISS Sigma300扫描电子显微镜技术数据：

• 电子源：肖特基热场发射器
• 30kV(STEM)时的分辨率：1.0纳米
• 15kV时的分辨率：1.0纳米
• 1kV时的分辨率：1.6纳米
• 30kV时的分辨率（VP模式）：2.0纳米
• 反向散射探测器(BSD)：aBSD/HDBSD
• 最大扫描速度：50纳秒/像素
• 加速电压：0.0230kV
• 放大倍率：10×1,000,000×
• 探头电流：3pA20nA（100nA可选）
• 图像帧存储：32k×24k像素
• 端口：10
• EDS端口：2（1个专用端口）

真空模式：

• 高真空：是
• 可变压力：10-133帕
• 舞台类型：5轴同心平台
• 舞台行程X：125毫米
• 载物台行程Y：125毫米
• 载物台行程Z：50毫米
• 载物台行程T：-10至+90度

ZEISS Sigma300扫描电子显微镜使用方法主要步骤：

• 载入样品并调节高度
• 选择合适的加速电压和探针电流
• 设置放大倍数并选择工作模式
• 对准样品区域并进行拍照或录像
• 使用INCA软件进行定量分析
• 保存或打印结果图谱报告
  

ZEISS Sigma300扫描电子显微镜有哪些实验室在用：

• 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 复旦大学材料科学与工程学院
• 南京大学微电子学院
• 武汉大学光电信息工程学院
• 中国科学技术大学微电子学院

ZEISS Sigma300扫描电子显微镜售后服务：

• 定期上门进行设备免费检测；
• 提供全年24小时在线技术支持；
• 定期上门或线下进行使用培训；
• 设备软件和固件免费升级支持；
• 长期提供各种使用备件供应等。

联用产品：成像软件、微探针、EDS成分分析仪、超高分辨相机、机械臂样品取放系统、EVO量子聚焦平台、INCA特征检测软件、Gemini列扫描系统。