Nordson March AP600等离子清洗机

 

AP600等离子处理系统适合各种等离子清洁、表面活化和附着力改进应用。具有灵活的货架架构，支持直接或下游等离子模式下各种零件载体的批量处理。非常适合各种行业和应用。

科研实验应用：为半导体制造、微电子封装和组装以及医疗设备制造提供极其均匀的等离子体清洁和处理。包括有机污染物、油脂、粉尘、氧化物和其他表面污染，纳米颗粒表面、半导体芯片有机物残留。

Nordson March AP600等离子清洗机规格:

外形尺寸：

• W(宽)xD(长)xH(高)–占地面积：569(宽)x869(进深)x704(高)毫米
• 净重：221公斤(487磅)
• 设备间隙：右侧、左侧、前面–至少569毫米，后面–至少254毫米
• 处理腔体
• 最大容量：50.4升
• 多钟电极配置：电源-接地、接地-电源、电源-电源
• 电极插槽数：7
• 电极间距：25.4毫米

电极：

• 电源电极面积：330(宽)x330(进深)毫米
• 多孔接地电极面积：368(宽)x330(进深)毫米
• 悬浮电极面积：330(宽)x330(进深)毫米

射频电源：

• 标配电源：600W
• 频率：13.56MHz

气体控制：

• 流量计：10,25,50,100,250或500sccm(标准毫升每分钟)
• MFC最多可配置数量：4

控制和接口：

• 软件控制：PLC控制，触摸屏界面
• 远程接口：PlasmaLINK,ProcessLINK

真空泵：

• 标配油泵：19.5cfm(立方英尺/分钟)，配有氧油除雾器
• 选配油泵：19.5cfm(立方英尺/分钟)，配有防锈油除雾器
• 选配干泵：22cfm(立方英尺/分钟)
• 干泵净化氮气用量：2slm(升/分钟)

Nordson March AP600等离子清洗机特征：

• 耐用、高品质的铝制结构和固定装置。
• 多达7个可拆卸和可调的供电或接地。用于存放各种零件、组件和零件载体，包括弹匣、托盘和船。
• 紧凑、独立的系统机箱，可容纳等离子室，控制电子设备，13.56MHzRF发电机和自动匹配网络（仅真空泵位于系统外部）。
• 直观的实时触摸屏控制面板过程监控。
• 方便的设施连接，用于定期校准验证过程中使用的要求。
• 支持多种工艺气体，包括氩气、氧气、氦气和氟化气体。
• 通过互锁门或可拆卸面板。
• 两个标准电子质量流量控制器可实现最佳效果气体控制，可选配一个附加控制器。

AP600等离子清洗机常见应用实例：

1. 清洗：去除纳米级的残留物；加强打线键合前的粘着性。
2. 灭菌处理：去除表面残留微生物。
3. 表面改性：在材料表面产生官能分子。
4. 活化：渲染表面的亲水性或疏水性；键合和沉积前的表面预处理。
5. 聚合处理：沉积带官能分子团的聚合物；等离子活化表面；移植聚合物到活化后的材料表面。

Nordson March AP600等离子清洗机有哪些实验室在用：

• 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 清华大学微电子技术研究院
• 中国科学技术大学微电子学院
• 复旦大学微电子学院

联用设备：Nordson March AP600等离子清洗机常与：光刻机、离子注入机、等离子蚀刻机、膜层增生设备、器件测试系统、扫描电镜、X射线扩散仪、晶质量。检测分析仪、温度控制设备、自动挂车系统、ESD保护系统设备联合使用。可实现March AP600在整个IC工艺流程中的高效应用。