Freiberg Instruments RESmap电阻率测试仪

 

RESmap电阻率测试仪非接触式电阻率测量和成像，高频涡流传感原理，集成红外温度传感器，可校正样品的温度变化。线圈频率读数可实现准确可靠的电阻率测量，具有高再现性和可重复性。每次测量<3秒，两次测量之间<1秒。多级用户账户管理。允许进行远程操作。

科研实验应用：1、材料科学：研究各种材料（如金属、半导体和绝缘体）的电阻率，分析其电导特性和电子结构；2、超导材料研究：测量超导材料的电阻率，评估其在不同温度下的超导转变温度（Tc）和临界电流密度；3、纳米材料研究：对纳米结构和薄膜材料进行电阻率测试，探讨其尺寸效应和界面特性。

Freiberg Instruments RESmap电阻率测试仪技术参数：

测量时间	测量时间<3s，测量之间时间<1s
测量速度	200mm晶圆/晶锭<30s，9个点
多点测量及测绘显示	不超过9999个点
材料外形尺寸	平坦或略微弯曲的晶圆、晶锭、锭板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率	≥0.1mm
边缘扣除	5mm
可靠性	模块化、紧凑的台式仪器设计，可靠性高，正常运行时间>99%
电阻率测量的重复性	≤0.15%，基于使用ANOVAGageR R方法对材料系统分析（MSA）
为自动化流程做准备	可用于不同的平台
测量方法符合	SEMIMF673标准
数据及数据有效性检查	使用NIST标准
校准精度	±1%
集成红外温度传感器（±0.1°）	允许报告标准温度下的电阻率，（与样品的实际温度不同）
样品厚度校准	对于高频信号穿透深度大于穿透深度的样品
电力要求	100-250VAC,5A
尺寸	465x550x600mm
软件控制	配备Window10或新版本的标准PC，2个以太网端口

Freiberg Instruments RESmap电阻率测试仪使用方法：

1. 样品准备：确保样品表面平整、清洁，适合进行电阻率测量。根据样品类型（块体、薄膜、纳米颗粒等）选择合适的测试方法。
2. 仪器启动：打开电源，等待系统自检完成，确保所有部件正常工作。
3. 样品安装：将样品固定在测试台上，确保与电极良好接触。
4. 设定实验参数：在软件中设置测量模式（如直流电阻率、交流电阻率）、测试温度范围和测量时间等参数。
5. 运行实验：启动测量程序，仪器将自动进行数据采集，记录电阻率数据。
6. 数据分析：使用软件对获得的数据进行分析，提取电阻率、温度系数等关键信息。
7. 结果整理：整理实验结果，生成报告，总结分析结果和实验发现。
8. 仪器维护：定期检查和校准仪器，确保其性能的稳定性和准确性。

Freiberg Instruments RESmap电阻率测试仪有哪些实验室在用：

• 中国科学院物理研究所：用于新型能源材料和电子器件的电学性能表征
• 清华大学电子工程系：应用于半导体薄膜、高分子电子材料的电阻率测试
• 南京大学物理学院：用于拓扑绝缘体、二维材料等新奇电子材料的电输运研究
• 华中科技大学材料科学与工程学院：应用于金属、陶瓷等功能性材料的电阻率表征
• 上海交通大学微电子学院：用于集成电路关键材料和器件的电学特性测试

Freiberg Instruments RESmap电阻率测试仪售后服务支持：

• 质保期限：提供一定期限的标准质保服务。
• 维修响应：拥有专业的维修团队，能够快速诊断和修复故障。
• 备件供应：建有齐全的备件库存，确保客户及时获得所需零件。
• 技术支持：设有7*24小时的技术咨询热线，提供专业的应用指导。
• 软件升级：承诺为RESmap电阻率测试仪提供免费的软件升级。
• 培训服务：定期举办用户培训研讨会，帮助客户掌握仪器使用。
• 定制服务：可根据客户需求提供定制化的测试系统方案。

相关产品：

傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：结合电阻率测试，分析材料的化学成分和结构特征。

扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品的微观结构，结合电阻率数据提供更全面的材料特性分析。

X射线衍射仪（XRD）：用于分析样品的晶体结构，结合电阻率研究材料的相变和晶体取向。

热分析仪（TGA/DSC）：研究材料的热性质变化，结合电阻率测量提供材料的热稳定性数据。

原子力显微镜（AFM）：用于表征样品的表面形貌，结合电阻率测量分析表面特性与电性之间的关系。