纳米级微振动 实验室投运，核心装置多项测试指标领跑世界，半导体 国产仪器

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国投中电院 全球首个纳米级微振动实验室在雄安新区正式投运。该实验室的核心装置是一台全球尺寸最大、精度最高的微振动实验台，在尺寸、承载、隔振与激振精度等多项核心指标上刷新世界纪录，标志着我国在精密装备微振动环境控制领域实现重大突破。

该实验台平面尺寸达4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨，可满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求，这一规模在全球尚属首次。在核心技术层面，实验台集成了两大关键系统：

主动隔振系统：采用空气弹簧主动隔振技术，可高效隔离来自地基与建筑结构的环境振动干扰，实测能将环境振动降低两到三个VC等级，在台面上营造出极纯净的微振动环境。

精密激振系统：配备高精度直线电机作动器，可在0.5Hz至100Hz的宽频率范围内，实现0.001Gal至5Gal的加速度精密输出，能够模拟从极其微弱的背景脉动到典型工程振动的全场景。

此外，实验台具备丰富的波形模拟能力，既可进行正弦波、随机波、扫频波在单个方向上的精确模拟，也能实现三个方向上的同步模拟，为科研人员提供了高度灵活、贴近真实工况的实验条件。

该实验室的投运，填补了在微振动试验方法、精密设备振动容许标准、隔振装置评价体系及第三方试验服务等多个环节的技术与市场空白。为光刻机等核心设备提供标准化微振动评估，加速国产仪器设备成熟；为高分辨率遥感卫星及低轨互联网卫星星座，提供地面微振动环境模拟与高效验证平台。

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